Bărci casete cu carbură de siliciu

Semicorexbărci casete din carbură de siliciusunt componentele de transport indispensabile, cu structura lor stabilă și de înaltă rezistență, țin, transferă și manipulează în siguranță și precis mai multe plachete semiconductoare. Sunt utilizate pe scară largă în diferitele procese de semiconductor la temperatură înaltă pentru a asigura o distribuție optimizată a căldurii și a fluxului de gaz pentru rezultate consistente de procesare.

Materia prima atent selectata

Fabricate cu precizie din pulbere de carbură de siliciu de calitate semiconductoare prin sinterizare la temperatură înaltă, barcile cu casete cu carbură de siliciu Semicorex posedă următoarele proprietăți excelente.

1. Puritate ultra-înaltă:Conținutul de impurități al substratului este controlat să fie sub 100 PPM, iar nivelul de impurități deCarbură de siliciu CVDacoperirea poate ajunge la mai puțin de 1 PPM.

2. Rezistență fiabilă la coroziune:Ceramica cu carbură de siliciu oferă o rezistență puternică la coroziune și este rezistentă la coroziune de la majoritatea acizilor (cum ar fi acidul clorhidric, acidul sulfuric și acidul fluorhidric), alcalii (cum ar fi soda caustică), solvenții și mediile oxidante.

3. Capacitate excepțională de management termic:Cu o rezistență termică excepțională și un coeficient de dilatare termică scăzut, bărcile cu casetă din carbură de siliciu își pot menține proprietățile chimice și rezistența mecanică chiar și atunci când sunt expuse la condiții prelungite de funcționare la o temperatură ridicată în jurul valorii de 1250 °C.

Structură proiectată cu precizie

1. Structura orizontală a cadrului:Structura orizontală a cadrului a bărcilor cu casete din carbură de siliciu Semicorex le face să se potrivească perfect cu tuburile orizontale ale cuptorului de înaltă temperatură.

2. Crestături uniform distanțate:Dispunând de numeroase crestături distanțate uniform, casetele cu casetă din carbură de siliciu Semicorex pot ține ferm placa în loc, ceea ce poate preveni semnificativ zgârieturile, abraziunile și deteriorarea nedorite rezultate din deplasarea plachetei, asigurând astfel în mod eficient stabilitatea procesului de semiconductor și randamentul plăcii.

3. Design cu mai multe sloturi:Fantele multiple concepute pentru a transporta mai multe plachete permit casetelor cu carbură de siliciu Semicorex să-și îmbunătățească debitul de procesare cu un singur lot și eficiența generală a producției.

4. Arhitectură deschisă:Bărcile cu casete din carbură de siliciu Semicorex sunt echipate cu o arhitectură deschisă atentă, care poate ajuta la obținerea unei distribuții uniforme a gazului și a unui contact suficient de reacție, ceea ce reduce la minimum rezultatele inconsecvente ale procesului.