Barci cu carbură de siliciu

Barcile cu carbură de siliciu semicorex prezintă o stabilitate termică excepțională, permițându -le să reziste la temperaturile extreme necesare proceselor de oxidare și difuzie. Rezistența lor excelentă de șoc termic minimizează riscul de fisurare sau deformare, asigurând longevitatea operațională prelungită. Compoziția SIC de înaltă densitate asigură o rezistență mecanică superioară, menținând integritatea structurală chiar și în cadrul ciclului termic continuu. Această rezistență excepțională la stresul mecanic reduce probabilitatea de contaminare și rupere a waferului, contribuind la randamente mai mari ale procesului. Mai mult, bărcile SIC au o rezistență chimică remarcabilă, rămânând inert la gazele de proces agresive utilizate în etapele de oxidare și difuzie. Această caracteristică previne reacții nedorite care ar putea compromite puritatea plafonului și eficiența producției.

Barcile din carbură de siliciu sunt utilizate în principal în cuptoarele de oxidare și difuzie, unde este esențial un control precis asupra expunerii la placă la temperaturi ridicate și gaze reactive. Ele susțin napolitane în timpul oxidării termice pentru a cultiva straturi de dioxid de siliciu de înaltă calitate și facilitează doparea uniformă prin expunerea controlată la gazele dopante. În plus, acestea oferă o platformă stabilă pentru recoacere și alte tratamente cu temperaturi ridicate care necesită o expunere prelungită de căldură.

În comparație cu bărcile tradiționale de cuarț și grafit, bărcile cu carbură de siliciu oferă durabilitate, longevitate și performanță de neegalat. Capacitatea lor de a rezista la medii termice și chimice dure, în timp ce minimizează contaminarea le face alegerea preferată pentru fabricarea semiconductorilor de înaltă precizie. Cu accent pe calitate și inovație, bărcile noastre de carbură de siliciu oferă performanțe superioare, asigurând randamente ridicate și prelucrare eficientă a plafonilor pentru producătorii de semiconductori din întreaga lume. Fie pentru tehnologii avansate de noduri sau pentru fabricarea semiconductorilor moșteniți, aceste bărci oferă o soluție fiabilă pentru a îndeplini cerințele stricte ale industriei.

(1) Transport și protecție: Barcile din carbură de siliciu transportă materiale semiconductoare, cum ar fi napolitane prin intermediul parantezelor sau sloturilor sale interne și folosește rezistența la temperatură ridicată și coroziune a materialelor din carbură de siliciu pentru a proteja napolitarii de mediul extern.

(2) Încălzire uniformă: barca de carbură de siliciu permite încălzirea în interior în interior în timpul procesului de tratare a căldurii. Acest lucru ajută la asigurarea faptului că temperatura și rata de reacție a fiecărei părți a plafonului rămân consecvente în timpul procesului de tratare a căldurii, îmbunătățind astfel randamentul și calitatea plafonului.

În prezent există trei tipuri principale deCeramică din carbură de siliciuMateriale: sinterizare de reacție, sinterizare fără presiune și sinterizare de recristalizare. În majoritatea aplicațiilor, carbura de siliciu sinterizat de reacție este un produs mai adecvat și mai rentabil. Barcile SIC recristalizate de obicei sinterizează și prelucrează mai întâi mai multe părți ale unității, apoi folosesc pasta SI pentru a combina piesele într-o barcă la temperaturi ridicate și, în final, aplică acoperire CVD-SIC (aproximativ 100um). Deoarece recristalizarea este poroasă, dacă nu există o acoperire SIC, aceasta va introduce, de asemenea, particule în procesul semiconductorului. Acest tip de barcă SIC recristalizată cu acoperire CVD-SIC are cel mai lung proces de fabricație și este foarte scump. În comparație cu bărcile de grafit acoperite cu SIC, bărcile SIC recristalizate cu CVD-SIC nu au nicio problemă de nepotrivire a CTE.