Caseta SiC Wafer

Caseta de napolitane Semicorex SiC, cunoscută și sub numele de barcă de napolitană cu gresie, a fost dezvoltată special pentru operațiuni de oxidare, difuzie și recoacere la temperaturi care depășesc 1200°C. Casetele oferă un suport mecanic semnificativ, precum și o aliniere pentru multe plachete simultan în timpul utilizării cuptorului la temperatură înaltă și prezintă o mare stabilitate mecanică și dimensională în timpul stresului termic și ulterior.  Cererea de materiale ultra-pure și stabile termic pentru sistemele de manipulare a plachetelor este în creștere pe măsură ce dispozitivele semiconductoare scad în dimensiune și cresc performanța.

Caseta este fabricată din înaltă puritatecarbură de siliciu, există și acoperiri care pot fi aplicate și pentru beneficii și mai mari. SiC are o excelentă stabilitate la șoc termic, coroziune și deformare dimensională.  SiC are duritate unică, inerție chimică și conductivitate termică, astfel încât este un material ideal pentru acest mediu de proces. SiC, în comparație cu alternativele de cuarț și alumină, nu își va diminua proprietățile mecanice și chimice la temperaturi ridicate de procesare, reducând astfel riscul de contaminare și îmbunătățind uniformitatea procesului de plachetă în timpul proceselor de fabricație.

Puritatea ultra-înaltă a casetei plachete SiC prezintă rezistență la contaminanții metalici sau ionici care intră în camera de proces; ceva care este absolut necesar pentru puritatea ridicată pentru a îndeplini cerințele procesului pentru procesele avansate de fabricare a semiconductoarelor. Prin reducerea la minimum a surselor de contaminanți, casetele cu carbură de siliciu vor crește randamentul plachetelor și fiabilitatea dispozitivului.

Tehnologia de prelucrare de precizie a Semicorex permite ca fiecare casetă să fie produsă cu toleranțe strânse, pas uniform al fantei și aliniere paralelă. Prelucrarea de precizie a materialelor permite încărcarea și descărcarea lină a napolitanelor, ceea ce reduce șansa de zgârieturi în timpul manipulării napolitanelor. Distanța precisă a fantelor permite o temperatură și un flux uniform de aer în toate plachetele, ceea ce promovează uniformitatea oxidării și difuziei, scăzând în același timp variabilitatea procesului.

Sic are o conductivitate termică excelentă, o stabilitate dimensională și oferă performanțe fiabile în cazul ciclurilor termice repetate. Materialul este stabil și nu se deformează sau crapă; Rigiditatea sa ridicată menține integritatea structurală cu temperatură ridicată pe perioade lungi de timp, scăzând semnificativ stresul mecanic asupra plachetelor, limitând în același timp probabilitatea de particule nedorite generate de manipulare din cauza frecării sau micro-vibrațiilor.

In plus,SicInerția față de substanțe chimice protejează plachetele de reacția la gazele de proces (de exemplu, oxigen, hidrogen, amoniac) implicate în mod obișnuit în timpul procesării. Casetele plachete sunt stabile în atmosfere oxidante și neoxidante și pot fi încorporate în fluxul de lucru al cuptorului printr-un număr de procese cum ar fi oxidarea, difuzia, LPCVD și recoacere.

Pentru a îndeplini cerințele specifice ale procesului, Semicorex oferă casete de napolitane SiC personalizate în diferite dimensiuni, număr de sloturi și configurații. Fiecare unitate este supusă unei inspecții riguroase de calitate și a unui tratament de suprafață pentru a asigura netezimea, curățenia și acuratețea dimensională. Lustruirea opțională a suprafețelor reduce și mai mult generarea de particule și îmbunătățește compatibilitatea cu sistemele automate de manipulare a plachetelor.