Barci de napolitană SiC

Semicorex SiC Wafer Boat, fabricat din ceramică cu carbură de siliciu (SiC), este lider în îndeplinirea cerințelor industriei semiconductoarelor, oferind performanțe de neegalat în medii cu temperaturi ridicate. Pe măsură ce industria semiconductoarelor împinge fără încetare granițele microfabricației, cererea de materiale rezistente și robuste devine primordială.

Barca de napolitană SiC joacă un rol crucial în menținerea și susținerea mai multor napolitane în timpul proceselor termice, cum ar fi difuzia, oxidarea și depunerea chimică a vaporilor (CVD). Aceste procese presupun supunerea plachetelor la temperaturi extrem de ridicate, care depășesc adesea 1000°C, într-o atmosferă controlată. Uniformitatea și consistența acestor tratamente termice sunt esențiale pentru asigurarea calității și performanței dispozitivelor semiconductoare fabricate. Capacitatea barcii de napolitană SiC de a rezista la temperaturi atât de ridicate fără deformare sau degradare asigură procesarea uniformă a napolitanelor, ceea ce duce la un randament și performanță superioară a dispozitivului.

Conductivitatea termică excepțională a barcilor de napolitană SiC garantează o distribuție uniformă a căldurii pe toate plăcile, minimizând riscul gradienților de temperatură care ar putea duce la defecte ale dispozitivelor semiconductoare. În plus, coeficientul scăzut de dilatare termică (CTE) al SiC are ca rezultat o dilatare și contracție termică minime în timpul ciclurilor de încălzire și răcire. Această stabilitate este crucială pentru prevenirea stresului mecanic și a potențialelor deteriorări ale plachetelor, în special în cazul geometriilor dispozitivelor de contracție.

În timpul proceselor termice, napolitanele sunt expuse la diferite gaze reactive care pot interacționa cu materialele barcii de napolitană SiC. Rezistența chimică excelentă a SiC asigură că nu reacționează cu aceste gaze, prevenind contaminarea și asigurând puritatea napolitanelor. Acest lucru este crucial în special în producția de dispozitive semiconductoare avansate, unde chiar și urme de contaminare pot duce la defecte și pot reduce fiabilitatea dispozitivului.