Mandrină cu vid SiC

Semicorex SiC Vacuum Chuck este un instrument special conceput care ține în siguranță wafer-urile semiconductoare în timpul etapelor critice de procesare, cu cea mai mare stabilitate și fiabilitate. Învelișul CVD SiC al mandrinei de vid SiC oferă o rezistență mecanică excepțională, rezistență chimică și stabilitate termică, asigurând că napolitanele delicate sunt protejate de orice deteriorări potențiale sau contaminare.

Combinația unică a mandrinei cu vid SiC de grafit și acoperire cu SiC oferă o conductivitate termică ridicată și un coeficient minim de dilatare termică. Acest lucru permite disiparea eficientă a căldurii și distribuția uniformă a temperaturii pe suprafața plachetei. Aceste caracteristici sunt esențiale pentru menținerea condițiilor optime de procesare și creșterea randamentului în procesele de fabricare a semiconductorilor.

Mandrina SiC Vacuum este compatibila si cu mediile de vid, asigurand aderenta superioara intre mandrina si napolitana. Acest lucru elimină riscul de alunecare sau nealiniere în timpul operațiunilor de înaltă precizie. Suprafața sa neporoasă și proprietățile inerte previn în continuare orice degajare sau contaminare cu particule, salvând puritatea și integritatea mediului de fabricație a semiconductorilor.

Semicorex SiC Vacuum Chuck este o tehnologie de temelie în fabricarea semiconductoarelor, oferind performanțe și durabilitate de neegalat pentru a răspunde cerințelor în continuă evoluție ale industriei. Indiferent dacă este utilizată în litografie, gravare, depunere sau alte procese critice, această soluție avansată continuă să redefinească standardele de excelență în manipularea și procesarea plăcilor semiconductoare.