Tuburile SIC semicorex sunt tuburi cuptor cu carbură de siliciu proiectate pentru procese cu temperaturi înalte cu semiconductor, cu o stabilitate termică excelentă și o rezistență la coroziune chimică. Alegerea materiilor prime de înaltă puritate semicorex, procese de fabricație de precizie și garanții de fiabilitate pe termen lung pentru a oferi sprijin solid pentru procesul dvs. de fabricație semiconductor.*
Tuburile semicorexe SIC (tuburile cuptorului SIC) sunt componente premium puternic utilizate în industria semiconductorilor, datorită stabilității termice ideale, rezistenței mecanice și rezistenței extreme la substanțele chimice agresive pe o serie de aplicații. Tuburile semicorexe SIC au fost proiectate pentru a supraviețui condițiilor cele mai dure asociate cu procesarea la temperaturi ridicate. Tuburile SIC sunt în mod clar un material preferat și superior pentru cuptoarele de difuzie, sistemele LPCVD/PECVD și în medii utilizate pentru creșterea epitaxială în care contaminarea materială și diferențialul termic sunt considerente cheie.
Tuburile SIC semicorex sunt fabricate din pulberi SIC de puritate ultra-înaltă, care utilizează metodologii avansate de sinterizare și tehnici de control al proceselor care păstrează puritatea SIC. Rezultatul este că tuburile SIC au o conductivitate termică optimă, caracteristici de expansiune termică scăzută și au greutatea distribuită de -a lungul lungimii tubului, minimizând efectiv tensiunea termică, chiar și atunci când sunt expuse la ciclism termic rapid. Astfel, utilizarea tuburilor SIC asigură respectul ridicat în timpul proceselor continue de temperatură ridicată (până la 1600 ° C)-asigurând astfel uniformitatea proceselor de fabricație a semiconductorilor, sporind eficiența generală la scări consistente.
Avantajul principal al SIC este că este inert chimic. SIC este practic non-poros (respectând gradarea ASTM-G654 GP-4) și de neegalat atunci când vine vorba de gaze corozive de rezistență și substanțe chimice reactive utilizate în dezvoltarea semiconductorilor, inclusiv HCL, NH₃, SIH₄, etc. Se remarcă, de asemenea, că tuburile Quartz se vor degrada și se vor realiza cu utilizarea de-a lungul timpului în mediul agresiv, cu toate acestea, tuburile SIC se vor reține și se vor realiza cu utilizarea în timp în mediul agresiv, cu toate acestea, tuburile SIC retrăgate și cu utilizarea în timp în mediul agresiv, cu toate Stabilitatea dimensională și creșterea timpului de serviciu, reducând în același timp încetinirea debitului legată de modificările și înlocuirile tubului. Beneficiile cheie pentru fabricarea semiconductorilor sunt clare; Utilizarea tuburilor SIC poate scădea costul total al proprietății în scădere cu săptămâni sau chiar luni, menținând în același timp fiabilitatea în ceea ce privește procesele industriale.
Tuburile semicorexe SIC vin în multe diametre, lungimi și specificații personalizate pentru a se adapta diferitelor proiecte de cuptor și cerințe de procesare. Suprafețele interioare pot fi lustruite, ceea ce îmbunătățește curățenia, reduce generarea de particule și este un detaliu important în spațiile semiconductoare ultra-curate. Utilizarea tuburilor SIC semicorexe poate ajuta la reducerea riscului de contaminare și contribuie la creșterea randamentelor de placă cu toleranțe strânse și o calitate îmbunătățită a suprafeței.
Experiența semicorexă a sicului include ani de procesare a carburilor de siliciu, cu accent pe inginerie precisă și control de calitate pentru a îndeplini standardele de calitate riguroase și solicitante ale industriei semiconductorilor. Tuburile noastre sunt testate și validate cu inspecții, care sunt esențiale pentru asigurarea purității, densității și a efectuării în cele mai extreme medii termice. Semicorex oferă, de asemenea, opțiuni de asistență tehnică și de proiectare personalizată pentru a ajuta la optimizarea sistemului de cuptor pentru aplicații specifice.
Indiferent dacă jetoanele logice, dispozitivele electrice sau optoelectronica, tuburile semicorexe SIC prezintă o opțiune fiabilă și durabilă pentru procesarea temperaturilor ridicate. Prin selectarea semicorexului, nu numai că asigurați eficiența, ci un proces eficient stabil și eficient pentru fabricarea semiconductorului.