Mandrinele de delipire ceramice poroase Semicorex SiC sunt componentele esențiale special concepute pentru adsorbția și fixarea plachetelor ultra-subțiri subțiri în fabricarea avansată a semiconductorilor. Semicorex se angajează să ofere clienților noștri distinși mandrinele ceramice poroase SiC prelucrate cu precizie, cu o calitate de lider pe piață.
Odată cu progresul procesării semiconductoarelor și creșterea cererii de componente electronice, aplicarea plachetelor ultra-subțiri a devenit din ce în ce mai critică. În general, napolitanele cu o grosime mai mică de 100 μm sunt denumite napolitane ultra-subțiri. Cu toate acestea, atunci când plachetele sunt subțiate sub 100 μm, ele prezintă o fragilitate semnificativă și rezistența lor mecanică scade ulterior, ceea ce duce la riscuri mari de deformare, îndoire sau chiar rupere a plachetelor. Din acest motiv, alegerea de a folosi mandrine ceramice poroase de delipire Semicorex SiC este o decizie înțeleaptă, care poate oferi suport și protecție fiabilă napolitanelor ultra-subțiri pentru a obține o separare sigură în procesul de delipire.
Având o duritate Mohs de aproximativ 9,5, SemicorexMandrine ceramice poroase de delipire SiCse laudă cu o rezistență excepțională la uzură și poate rezista pe termen lung la operațiuni repetate de adsorbție și eliberare în vid, cu durabilitate fiabilă în timpul procesului de delipire.
În plus, cu o conductivitate termică superioară, mandrinele de delipire ceramică poroasă Semicorex SiC sunt utile pentru conducerea rapidă a căldurii, ceea ce poate preveni în mod eficient supraîncălzirea locală care poate degrada sau deteriora napolitanele, în special potrivite pentru procesul de delipire la temperatură înaltă.
Fabricat din înaltă calitatecarbură de siliciupulbere prin sinterizare la temperatură înaltă, mandrinele de delipire ceramică poroasă Semicorex SiC au numeroși micro-pori interconectați distribuiti uniform în interior. Cu o porozitate de 30 (±5)% și o dimensiune a porilor controlată cu precizie între 2-25 μm, mandrinele de delipire ceramică poroasă Semicorex SiC pot asigura că napolitanele ultra-subțiri sunt tensionate uniform în timpul procesului de delipire, reducând astfel foarte mult riscurile de deformare și rupere a plachetei.
Beneficiind de tehnologiile mature de prelucrare și tratare a suprafețelor, mandrinele de delipire ceramică poroasă Semicorex SiC ating paralelismul controlat sub 0,02 mm și planeitate pe două fețe sub 0,02 mm. Această planeitate excelentă și paralelism oferă o platformă de sprijin stabilă și plată pentru procesul de delipire a plachetelor ultra-subțiri, garantând eficient acuratețea și fiabilitatea procesului de delipire.
Mandrinele de delipire ceramice poroase Semicorex SiC sunt potrivite pentru tratarea plachetelor de 6 inchi și 8 inci și sunt disponibile în diferite dimensiuni standard, inclusiv 159 mm diametru × 0,75 mm grosime, 200 mm diametru × 1 mm grosime, 204 mm diametru × 1,5 mm grosime.