Țevi sic

Țevile semicorexe SIC sunt piese ceramice pentru sistemele de cuptor cu semiconductor.  Acestea au proprietăți unice, care includ transmisie termică ridicată și rezistență chimică la temperatură ridicată și chimică, care este necesară în aplicațiile semiconductoare, unde există condiții de mediu cu temperaturi extreme și chimice de mediu, care sunt așteptate și unde proprietățile sunt de dorit - durabilitate, eficiență energetică și condiții de proces stabile unice - care permit utilizările de a fi economice în mediile avansate de producție semiconductoare.

Țevile semicorexe SIC folosesc o cereale fină de înaltă puritateCarbură de siliciuAceasta este fabricată pentru a avea o stabilitate mecanică excepțională de temperatură ridicată ca urmare a metodelor și tehnicilor avansate de sinterizare și recristalizare. Permiterea SiC performantă are ca rezultat o rezistență mecanică excepțională și reținerea stabilității termice la temperaturi de funcționare ridicate. SIC are o duritate excepțională care atenuează uzura sau deformarea potențială.  În plus, atributele asociate cu proprietățile SIC sunt co-eficiente cu combustibil scăzut de expansiune termică sunt benefice, deoarece limitează stresul termic, deoarece vor exista cerințe pentru ciclismul acestui material între căldura de funcționare extremă și scăzută. În toate aceste considerente, acestea au o utilitate specială pentru aplicații ideale în cuptoarele de difuzie, cuptoarele de oxidare și sistemele LPCVD/PECVD pentru a menține maximul de condiții de proces stabile sunt de beneficii pentru a elimina sau limita defectele care sunt, de asemenea, valori legate de wafer sau material, cu condiții de proces extrem de stabile.

O altă utilitate importantă a conductelor SIC este profilurile de conducere termică ridicată în condiții specifice și proiectele de cuptor aplicabile pentru a produce rate mari de conductiv și, crucial, o distribuție uniformă și constantă a temperaturii pe întregul proces.  Acest comportament fiabil permite ca napolitane să fie expuse la distribuții de temperatură semi-egală în intervale de timp rezonabile și, în plus, pentru a limita gradienții termici pentru a atenua napolitane distorsionate și/sau defecte în timp ce îmbunătățesc mai multe condiții de depunere a filmului.

Stabilitatea chimică și rezistența este un alt factor important de performanță.  În procesele semiconductoare, tubul cuptorului este supus influenței gazelor extrem de reactive, inclusiv oxigen, hidrogen, amoniac și toți halogenii, care pot degrada materialele convenționale într -un mod rapid. Microstructura densă și non-poroasă, împreună cu natura inertă din punct de vedere chimic a SIC, o protejează împotriva oxidării și coroziunii, oferind în același timp performanțe operaționale și mecanice în mediul de proces extrem.  Durabilitatea cuptoarelor SIC îi ajută să mențină integritatea formei și a preciziei dimensionale pe perioade lungi de timp, ceea ce este important pentru controlul și stabilitatea procesului.

Țevile SIC pot fi fabricate într -o gamă largă de dimensiuni și grosimi de perete, în formă geometrică pentru a se potrivi proiectărilor cuptorului și nevoilor procesului.  Caracteristicile exacte de prelucrare a preciziei sunt, de asemenea, menținute în timpul proiectării și producției de conducte SIC, astfel încât toleranțele operaționale să poată fi strânse, cu suprafețe interne netede și concentricitate excelentă pentru a menține un echilibru de flux de gaze laminare și profiluri termice uniforme. Lustruirea de suprafață și acoperirile pot fi furnizate ca opțiuni de tratament care vor spori performanța prin reducerea generarii de particule și îmbunătățirea rezistenței la coroziune.

Țevile SIC au avantaje operaționale și costuri clare în comparație cu materiale alternative precum țevi de cuarț sau alumină.  Costul inițial pentru componentele SIC ar putea fi puțin mai mare, dar durata de viață a produsului, reducerea ruperii și cerințele mai mici de întreținere au ca rezultat un cost total de proprietate care este mai mic costuri decât materialele și conductele alternative.

În concluzie, semicorexSicȚevile sunt cea mai bună opțiune pentru aplicațiile cuptorului semiconductor, deoarece oferă cele mai bune performanțe termice, rezistență mecanică, rezistență chimică și fiabilitate pentru medii de producție solicitante. Acest material îmbunătățește stabilitatea procesului și ajută la economiile și eficiența costurilor în jos (adică un consum de energie mai mic). Țevile SIC sunt un material fundamental pentru fabricarea modernă a semiconductorilor.