Tub de oxidare SIC

Tubul de oxidare semicorexă SIC este construit din ceramică din carbură de siliciu de înaltă puritate, concepută pentru oxidare, difuzie sau procese de recoacere efectuate de obicei la 1600 ° C. Ca parte a unui cuptor SIC, orizontal sau vertical, acesta este mediul controlat în care napolitane sunt încălzite în timp ce se oxidează. Funcția tubului de oxidare este de a oferi un mediu curat, uniform și stabil pentru tratarea termică a napolitanelor cu carbură de siliciu (SIC) în fabricarea dispozitivelor electrice și a semiconductorilor de bandă largă, ca deschidere a procesului constant de oxidare potențială, tubul de oxidare acționează ca o direcție consumabilă pentru prima utilizare. În timp ce tuburile de cuarț și alumină sunt adesea descompuse în timp prin devitrifiere, deformare sau descompunere chimică, carbura de siliciu are o durabilitate excepțională împotriva provocărilor de șoc termic, îmbunătățirea proprietății mecanice și inertismul chimic. Acești factori produc carbură de siliciu ca o opțiune excelentă pentru tuburile de oxidare în medii cu fiabilitate ridicată, cu randament ridicat.

Folosind forme avansate de formare, cum ar fi presarea izostatică rece și sinterizarea fără presiune (sau recristalizarea), semicorexul produce tuburi de oxidare SIC care au o microstructură densă, etanșă cu gaz și omogenă. Aceasta oferă forță fără riscul de porozitate, permițând procesului de oxidare fără contaminare. SIC are o conductivitate termică foarte mare, permițând o distribuție termică uniformă în zona de încărcare a plafonului și, astfel, reducerea gradienților termici care pot provoca napolitane sau defecte deformate. Rezistența tubului la acizi, baze și gaze reactive împiedică interacțiunile chimice nedorite cu suprafața de placă și prin mediul cuptorului.

Nu se strecoară, nu se deformează. Tubul nu trebuie înlocuit după mai multe cicluri de producție-sunt medii de ciclism termic pe termen lung care altfel ar distruge materiale mai mici. Prin urmare, nicio întrerupere de înaltă frecvență nu înseamnă costuri de operare scăzute, iar acest lucru menține fluxul procesului fără perturbări. Acest lucru reduce, de asemenea, riscurile de contaminare care pot scădea cu ușurință performanța de randament în dispozitivele semiconductoare de generație viitoare, unde impuritățile de urmărire joacă un rol critic. Semicorex produce atât dimensiuni de tub standard, cât și complet personalizate pentru orice platformă de cuptor și rețetă utilizată. Diametrul interior și exterior, lungimea, grosimea peretelui și finisajul suprafeței sunt parametri care pot necesita o reglare pentru a răspunde diferitelor nevoi termice și mecanice specifice; De la cuptoare de cercetare și dezvoltare la scară de laborator până la linii mari de fabricație-în fiecare caz în care tubul are nevoie de prelucrare, curățare și inspecție pentru a garanta performanța.

Controlul calității începe cu verificări dimensionale, teste de densitate a materialului și validarea fiabilității ciclului termic pentru fiecare tub de oxidare SIC. Un sistem puternic de trasabilitate a materialelor înregistrează produsul de la etapa sa de pulbere brută până la inspecția finală. Acest tip de calitate oferă clienților o mână constantă în stabilitatea și reproductibilitatea pe termen lung a tuburilor noastre de oxidare SIC.

Alegeți semicorexul și obțineți un partener într -un furnizor care combină inginerie ceramică avansată cu un control larg al proceselor și asistență tehnică receptivă, lucrând împreună de la bun început. Aflăm despre mediul dvs. de cuptor specific, cerințele procesului și provocările de integrare, astfel încât să vă putem oferi soluții personalizate, îmbunătățindu -vă rezultatele procesului, precum și timpul de funcționare a instrumentului.

Tubul de oxidare semicorex SIC oferă cele mai bune performanțe termice posibile cu stabilitate chimică și rezistență mecanică. Devine inima oricărui sistem de procesare SIC la temperaturi ridicate, oferind un mediu termic uniform în timpul oxidării și recoacerii materialelor semiconductoare avansate. Pentru producătorii care solicită componentelor cuptorului să fie fiabile, curate și de lungă durată, Semicorex va fi o alegere a produsului susținută de cunoștințe și experiență, precum și un standard de a nu oferi nimic din cele mai bune.