Tuburi orizontale pentru cuptor SIC

Tuburi orizontale pentru cuptor SICsunt purtătorii indispensabili ai sistemului de cuptor, situate în mod obișnuit în zona de încălzire a miezului a echipamentelor de fabricare a semiconductoarelor sau de producție fotovoltaică. Acestea lucrează împreună cu elementele de încălzire, sistemele de control al temperaturii, sistemele de control al gazului și barcile de napolitană pentru a forma sistemul complet al cuptorului.

În funcționarea efectivă, tuburile orizontale ale cuptorului SIC sunt încălzite de elementele de încălzire, care transferă uniform căldura în tuburile cuptorului cu ajutorul conductibilității termice excelente a materialelor din carbură de siliciu. Între timp, în tubul cuptorului sunt introduse gaze specifice procesului (cum ar fi oxigenul, azotul, gazele dopante etc.). Sub efectul acestei atmosfere gazoase la temperatură înaltă, materialele semiconductoare din interiorul cuptorului vor suferi reacții chimice sau modificări fizice, realizând în cele din urmă modificarea materialului, dopajul sau optimizarea structurală.

Tuburile orizontale ale cuptorului SIC de la Semicorex oferă o rezistență mecanică și o duritate remarcabile, care joacă un rol semnificativ în aplicațiile care implică manipularea și prelucrarea napolitanelor de volum mare. Tuburile orizontale ale cuptorului SIC sunt capabile să ofere suport stabil pentru napolitane în procesele de tratare termică, cum ar fi oxidarea, difuzia și recoacere, asigurând că plachetele sunt în poziția corectă în timpul procesării la temperatură înaltă și evitând deplasarea sau deformarea cauzate de stresul termic.

Tuburile orizontale ale cuptorului SIC de la Semicorex sunt fabricate din puritate ridicatăceramică cu carbură de siliciucu conținut de impurități ultra scăzut, urmat de depunerea unui CVDacoperire cu carbură de siliciupe suprafata lor. Această metodă de fabricație adaugă un strat de protecție tuburilor orizontale ale cuptorului SIC, ceea ce le permite să funcționeze stabil în medii solicitante cu temperatură înaltă și corozive în timp. Această performanță de rezistență la coroziune a tuburilor orizontale ale cuptorului SIC îmbunătățește eficiența fabricării plachetelor semiconductoare prin reducerea eficientă a riscului de deteriorare a componentelor cauzate de coroziune și reducerea nevoii de înlocuiri frecvente și întreținere.

Cu atât de multe proprietăți superioare, tuburile orizontale de cuptor SIC de la Semicorex sunt utilizate pe scară largă în multe procese de prelucrare la temperatură înaltă din industriile fotovoltaice și semiconductoare, cum ar fi procesul de oxidare, procesul de difuzie, procesul de recoacere și depunerea de vapori chimici la presiune joasă.