Inele de focalizare SiC

Inelele de focalizare SiC avansate, de înaltă puritate Semicorex sunt construite pentru a rezista la mediile extreme din camerele de gravare cu plasmă (sau gravare uscată). Ne concentrăm pe industriile semiconductoare, cum ar fi straturile de carbură de siliciu și semiconductorul de epitaxie. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex furnizează SiC Focus Rings este cu adevărat stabil pentru RTA, RTP sau curățare chimică puternică. Inelele de focalizare SiC sau inelele de margine sunt proiectate pentru a îmbunătăți uniformitatea gravării în jurul marginii sau perimetrului plachetei. Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă. Inelele noastre de focalizare SiC cu acoperire SiC sunt o acoperire densă, rezistentă la uzură din carbură de siliciu (SiC). Are proprietăți ridicate de rezistență la coroziune și căldură, precum și o conductivitate termică excelentă. Aplicăm SiC în straturi subțiri pe grafit folosind procesul de depunere chimică în vapori (CVD).

Parametrii inelelor de focalizare SiC

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile inelelor de focalizare SiC

- Acoperiri cu carbură de siliciu CVD pentru a îmbunătăți durata de viață.

- Izolatie termica din carbon rigid purificat de inalta performanta.

- Încălzitor și placă din compozit carbon/carbon. - Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Acoperire cu grafit de înaltă puritate și SiC pentru rezistență la găuri și o durată de viață mai mare