Receptor de epitaxie SiC

Fabricat cu precizie și proiectat pentru fiabilitate, SiC Epitaxy Susceptor are rezistență ridicată la coroziune, conductivitate termică ridicată, rezistență la șoc termic și stabilitate chimică ridicată, permițându-i să funcționeze eficient într-o atmosferă epitaxială. Prin urmare, SiC Epitaxy Susceptor este considerat un nucleu și componentă crucială în echipamentul MOCVD. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Susceptorul de epitaxie SiC este o componentă critică utilizată în echipamentele MOCVD pentru a susține și a încălzi substraturile monocristaline. Parametrii săi de performanță superiori, cum ar fi stabilitatea termică și uniformitatea termică, joacă un rol decisiv în calitatea creșterii materialului epitaxial, asigurând niveluri ridicate de uniformitate și puritate în materialele cu film subțire.

Susceptorul de epitaxie SiC posedă o densitate excelentă, oferind o protecție eficientă în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive. În plus, nivelul său ridicat de planeitate a suprafeței îndeplinește perfect cerințele pentru creșterea unui singur cristal pe suprafața substratului.

Coeficientul minim al diferențelor de dilatare termică în susceptorul de epitaxie SiC îmbunătățește în mod semnificativ rezistența de legare între substratul epitaxial și materialul de acoperire, reducând astfel probabilitatea de fisurare după experimentarea ciclului termic la temperatură înaltă.

În același timp, prezintă o conductivitate termică ridicată, facilitând o distribuție rapidă și uniformă a căldurii pentru creșterea așchiilor. În plus, punctul său de topire ridicat, rezistența la temperatură, rezistența la oxidare și rezistența la coroziune permit o funcționare stabilă în medii de lucru la temperaturi ridicate și corozive.

Ca o componentă esențială în camera de reacție a echipamentului MOCVD, susceptorul de epitaxie SiC trebuie să aibă avantaje precum rezistența la temperatură ridicată, conductivitate termică uniformă, stabilitate chimică bună și rezistență puternică la șocul termic. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor îndeplinește toate aceste cerințe.