Receptor de disc SiC

Cu un angajament profund față de calitate și inovație, susceptorul de disc SiC ultra-pur al Semicorex stabilește un nou standard de performanță în echipamentele de epitaxie, MOCVD și RTP. Combinând rezistența excepțională la șocuri termice, conductivitate termică superioară, rezistență chimică remarcabilă și puritate ultra-înaltă, aceste componente proiectate permit producătorilor de semiconductori să obțină o eficiență, fiabilitate și calitate de produs fără egal. Soluțiile personalizabile ale Semicorex asigură în continuare că fiecare aplicație de procesare termică beneficiază de componente optimizate, proiectate cu precizie, concepute pentru a răspunde cerințelor sale unice.

Rezistență remarcabilă la șocuri termice:SiC Disc Susceptor excelează în a rezista fluctuațiilor rapide de temperatură, care sunt comune în RTP și alte procese la temperatură înaltă. Această rezistență excepțională la șoc termic asigură integritatea structurală și longevitatea, minimizând riscul de deteriorare sau defecțiune din cauza schimbărilor bruște de temperatură și sporind fiabilitatea echipamentului de procesare termică.

Conductivitate termică superioară:Transferul eficient de căldură este critic în aplicațiile de procesare termică. Conductivitatea termică excelentă a Susceptorului de disc SiC asigură încălzirea și răcirea rapidă și uniformă, esențială pentru controlul precis al temperaturii și uniformitatea procesului. Acest lucru duce la o eficiență îmbunătățită a procesului, timpi de ciclu redusi și wafer-uri semiconductoare de calitate superioară.

Rezistență chimică excepțională:Susceptorul de disc SiC oferă o rezistență remarcabilă la o gamă largă de substanțe chimice corozive și reactive utilizate în procesele de epitaxie, MOCVD și RTP. Această inerție chimică protejează grafitul subiacent de degradare, previne contaminarea mediului de proces și asigură o performanță constantă pe perioade lungi de funcționare.

Puritate ultra-înaltă: Susceptorul de disc SiC este fabricat la standarde de puritate ultra-înaltă atât pentru acoperirea cu grafit, cât și pentru acoperirea SiC, evitând potențialul de contaminare și asigurând producerea de dispozitive semiconductoare fără defecte. Acest angajament față de puritate înseamnă randamente mai mari și performanțe îmbunătățite ale dispozitivului.

Disponibilitatea formelor complexe:Capacitățile avansate de producție de la Semicorex permit producția de susceptor de disc SiC în forme complexe adaptate cerințelor specifice ale clienților. Această flexibilitate permite proiectarea de soluții personalizate care răspund nevoilor precise ale diferitelor aplicații de procesare termică, sporind eficiența procesului și compatibilitatea echipamentelor.

Utilizabil în atmosfere oxidante:Învelișul robust CVD SiC oferă o protecție excelentă împotriva oxidării, permițând Susceptorului Disc SiC să funcționeze fiabil în medii oxidante. Acest lucru extinde aplicabilitatea lor la o gamă mai largă de procese termice, asigurând versatilitate și adaptabilitate.

Performanță robustă, repetabilă:Proiectat pentru medii cu temperatură ridicată și vid, suportul de disc SiC oferă performanțe robuste și repetabile. Durabilitatea și consistența sa le fac ideale pentru aplicații critice de procesare termică, reducând timpul de nefuncționare, costurile de întreținere și asigurând fiabilitatea operațională pe termen lung.

Semicorex este specializată în personalizarea componentelor acoperite cu CVD SiC pentru a satisface nevoile diverse ale echipamentelor de procesare termică, inclusiv:

Difuzoare:Îmbunătățiți uniformitatea distribuției gazelor și consistența procesului.

Izolatoare:Asigura izolare termica si protectie in medii cu temperaturi ridicate.

Alte componente termice personalizate:Soluții personalizate concepute pentru a satisface cerințele specifice procesului și pentru a optimiza performanța echipamentului.