Discuri de deviere a gazului acoperite cu SiC

Reprezentând un bun exemplu de materiale avansate de calitate semiconductoare și tehnologii de producție de ultimă oră, SemicorexAcoperit cu SiCDiscurile de deviere a gazului sunt fabricate cu precizie din grafit de înaltă puritate ca matrice cu o acoperire densă de SiC prin depunere chimică de vapori. Discurile de deviere a gazelor sunt concepute în principal pentru a distribui gazul de reacție în mod uniform pe suprafața plachetei pentru a asigura reacții complete în timpul procesării, facilitând astfel formarea de pelicule subțiri monocristaline consistente și uniforme.

Avantajele discurilor de deviere a gazului acoperite cu Semicorex SiC

1. Puritate materială ridicată

Semicorex respectă standarde stricte de calitate a produselor, pornind de la o selecție atentă a materialelor. Datorită acestui control strict al purității materiei prime, discurile de deviere a gazului acoperite cu Semicorex SiC oferă un conținut scăzut de impurități și se laudă cu o curățenie remarcabilă. Acest lucru poate împiedica în mod semnificativ ionii metalici și alți contaminanți să compromită procesele epitaxiale semiconductoare.

2. Stabilitate termică superioară

Componentele utilizate în aceste sisteme trebuie să aibă o stabilitate termică excepțională, deoarece echipamentele epitaxiale semiconductoare funcționează de obicei la temperaturi peste 1400°C. Această stabilitate termică excepțională poate asigura că discurile de deviere a gazului acoperite cu Semicorex SiC rezistă la condițiile dificile de funcționare la temperatură înaltă și poate preveni eficient eliberarea de impurități cauzate de temperatura ridicată în timpul funcționării, ceea ce ajută la garantarea calității și randamentului plachetelor epitaxiale.

3. Rezistență remarcabilă la coroziune la temperaturi înalte

Matricele de grafit neprotejate sunt predispuse la coroziune și generarea de particule, motiv pentru care discurile de deviere a gazului sunt tratate în mod obișnuit cu o acoperire cu carbură de siliciu pentru a le spori rezistența la coroziune. Acoperite cu un strat dens de SiC, discurile de deviere a gazului  Semicorex acoperite cu SiC oferă o rezistență excelentă la oxidare și coroziune chimică, ceea ce le permite să funcționeze constant pe o durată lungă de viață chiar și în condiții dificile de funcționare la temperatură ridicată și corozive.

4.Capacități flexibile de personalizare

Semicorex este echipat cu mai multe echipamente avansate de procesare, cum ar fi echipamente de prelucrare CNC, mașini de șlefuit de suprafață și echipamente de găurit cu ultrasunete,  oferind capabilități de procesare cu experiență. Semicorex este capabil să ofere servicii flexibile de personalizare în funcție de desenele clienților și să adapteze dimensiunile, toleranțele, planeitatea suprafeței, diametrele găurilor și distanța dintre găuri ale discurilor de deviere a gazului acoperite cu SiC pentru a asigura compatibilitatea perfectă cu echipamentele epitaxiale ale clienților.