Susceptor de butoi acoperit cu SiC

Cu punctul său de topire ridicat, rezistența la oxidare și rezistența la coroziune, Susceptorul Semicorex SiC-Coated Baril este alegerea perfectă pentru utilizarea în aplicațiile de creștere a cristalului unic. Acoperirea sa cu carbură de siliciu oferă proprietăți excepționale de planeitate și distribuție a căldurii, asigurând performanțe fiabile și consecvente chiar și în cele mai solicitante medii cu temperatură ridicată.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor este un produs de grafit de calitate superioară acoperit cu SiC de înaltă puritate, conceput special pentru procesele LPE și alte aplicații de fabricare a semiconductorilor. Densitatea excepțională și conductivitatea termică asigură o distribuție superioară a căldurii și protecție în medii cu temperaturi ridicate și corozive.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de susceptor cu baril acoperit cu SiC de înaltă calitate și rentabil, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii susceptorului de baril acoperit cu SiC

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale susceptorului de butoi acoperit cu SiC

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.