Susceptor de baril de reactor acoperit cu carbură

Susceptor de baril pentru reactor acoperit cu carbură Semicorex este un produs din grafit de calitate premium acoperit cu SiC de înaltă puritate, conceput special pentru procesele LPE. Cu o rezistență excelentă la căldură și coroziune, acest produs este perfect pentru utilizarea în aplicațiile de fabricare a semiconductoarelor.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Dacă sunteți în căutarea unui susceptor de grafit de înaltă performanță pentru formarea stratului epitaxial pe plachete semiconductoare, susceptorul de butoi cu reactor acoperit cu carbură Semicorex este o alegere excelentă. Învelișul său cu carbură de siliciu oferă o distribuție superioară a căldurii și o conductivitate termică, asigurând performanțe excepționale chiar și în cele mai solicitante medii cu temperaturi ridicate.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de susceptori cu baril de reactor acoperit cu carbură de înaltă calitate, rentabile, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii susceptorului de butoi al reactorului acoperit cu carbură

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale susceptorului de butoi de reactor acoperit cu carbură

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.