Acoperirea Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor oferă stabilitate termică excelentă și rezistență la atacul chimic, în timp ce substratul de grafit oferă proprietăți superioare de transfer de căldură.
Semicorex EPI 3 1/4" baril susceptor este un produs de grafit de înaltă calitate acoperit cu SiC de înaltă puritate, care oferă rezistență excepțională la căldură și coroziune. Este conceput special pentru aplicațiile LPE din industria de fabricare a semiconductoarelor.
Suceptorii noștri EPI 3 1/4" sunt proiectați pentru utilizare într-o varietate de industrii, inclusiv în industria aerospațială, auto și electronică. Ne angajăm să oferim produse de înaltă calitate la un preț competitiv și suntem dedicați construcției pe termen lung. relațiile cu clienții noștri. Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre noastreAcoperit cu SiCcreuzetele din grafit și modul în care acestea pot beneficia afacerea dvs.
Specificațiile EPI 3 1/4" Baril Susceptor
Specificațiile principale aleCVD-SICStrat |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structură cristalină |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Marimea unui bob |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici EPI 3 1/4" Baril Susceptor
Acoperire SiCasigură stabilitate termică excelentă și rezistență la atacul chimic
Substratul din grafit oferă proprietăți superioare de transfer de căldură
Densitate mare și duritate
Puritate chimică ridicată
Capacitate termică mare
Temperatura ridicata de sublimare
Rezistență ridicată la încovoiere
Modulul Young ridicat
Coeficient scăzut de dilatare termică
Conductivitate termică ridicată