Susceptor cilindric acoperit cu carbură de siliciu

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor este un produs de grafit de înaltă calitate acoperit cu SiC de înaltă puritate, care oferă rezistență excepțională la căldură și coroziune. Este conceput special pentru aplicațiile LPE din industria de fabricare a semiconductoarelor.

Trimite o anchetă

Descriere produs

NoastreSusceptor cilindric acoperit cu carbură de siliciude la Semicorex este o soluție ideală pentru creșterea monocristalelor în medii cu temperaturi ridicate și corozive.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de înaltă calitate, rentabilăacoperit cu carbură de siliciubaril susceptor, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii deAcoperit cu carbură de siliciuRecipient de butoi

Specificațiile principale aleAcoperire CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici aleAcoperit cu carbură de siliciuRecipient de butoi

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.