Mandrină cu vid din ceramică SiC

În timp ce se străduiesc pentru Legea lui Moore, instalațiile de fabricare a semiconductoarelor au nevoie de platforme de susținere a plăcilor care pot suporta forțe mecanice severe și să rămână plate, fără denivelări sau denivelări. Mandrina de vid ceramică Semicorex SiC oferă soluția perfectă pentru a înlocui mandrinele tradiționale din alumină și oțel inoxidabil; vor oferi raportul necesar dintre rigiditate și greutate și nu vor reacționa chimic, ambele fiind esențiale pentru procesarea napolitanelor de 300 mm și nu numai.

1. Avantaje materiale prin utilizarea carbură de siliciu densă sinterizată (SSiC).

Componenta de bază a noastrăCeramica SiCMandrina de vid este sinterizatăCarbură de siliciu, un material definit de legătura sa covalentă foarte puternică. SSiC-ul nostru nu este poros sau legat de reacție; mai degrabă, este sinterizat la > 2000 de grade Celsius pentru a obține o densitate aproape teoretică (> 3,10 g/cm3) - simplu spus, este mai solid decât alte materiale utilizate pentru fabricarea mandrinelor de vid.

Rigiditate mecanică excepțională.

Modulul Young al SSiC este de aproximativ 420 GPa, ceea ce îl face mult mai rigid decât alumina (aproximativ 380 GPa). Datorită acestui modul ridicat de elasticitate, mandrinele noastre vor rămâne stabile atât în ​​condiții de vid, cât și în condiții de rotație de mare viteză și nu se vor deforma; prin urmare, napolitanele nu vor „chip de cartofi” (adică, urzeală) și vor face întotdeauna contact uniform pe întreaga lor suprafață.

Stabilitate termică și CTE scăzut

În procesele care implică lumină UV de mare intensitate sau căldură indusă de frecare, dilatarea termică poate duce la erori de suprapunere. Mandrinele noastre SiC posedă un coeficient scăzut de expansiune termică (CTE) de 4,0 x 10^{-6}/K, cuplat cu o conductivitate termică ridicată (>120W/m·K). Această combinație permite mandrinei să disipeze căldura rapid, menținând stabilitatea dimensională în timpul ciclurilor de litografie sau metrologie de lungă durată.

2. Inginerie de precizie și proiectare

După cum este vizibil în imaginea produsului, mandrinele noastre de vid prezintă o rețea complicată de canale de vid concentrice și radiale. Acestea sunt prelucrate CNC cu o precizie extremă pentru a asigura o aspirație uniformă peste plachetă, minimizând punctele de stres localizate care ar putea duce la ruperea plachetei.

Planeitate sub-microană: Utilizăm tehnici avansate de șlefuire cu diamant și de lepătură pentru a obține o planeitate globală de <1μm. Acest lucru este esențial pentru menținerea adâncimii focale necesare în nodurile de litografie avansate.

Ușurare (Opțional): Pentru a găzdui etapele cu accelerație mare în stepper și scanere, oferim structuri interne de „ușoare” în fagure care reduc masa fără a compromite rigiditatea structurală.

Crestături de aliniere perimetrală: Crestăturile integrate permit integrarea perfectă cu efectele terminale robotizate și senzorii de aliniere în cadrul instrumentului de proces.

3. Aplicații critice în lanțul de aprovizionare cu semiconductori

Mandrinele noastre de vid din ceramică SiC sunt standardul industrial pentru:

Wafer Thinning & Grinding (CMP): Oferă suportul rigid necesar pentru subțirea napolitanelor până la nivelul micronului fără așchierea marginilor.

Litografie (Steppers/Scanere): Acționând ca „scena” ultraplată care asigură focalizarea laser precisă pentru nodurile sub 7 nm.

Metrologie și AOI: Asigurarea ca napolitanele sunt perfect plane pentru inspecția de înaltă rezoluție și maparea defectelor.

Wafer Dicing: Oferă o aspirație stabilă în timpul operațiunilor mecanice de mare viteză sau cu laser.

La Semicorex, înțelegem că o mandrina cu vid este la fel de bună ca integritatea suprafeței sale. Fiecare mandrina trece printr-un proces de control al calitatii in mai multe etape:

Interferometrie cu laser: Pentru a verifica planeitatea pe întregul diametru.

Testarea scurgerilor de heliu: Asigurarea că canalele de vid sunt perfect sigilate și eficiente.

Curățarea camerei curate: Procesat în medii de clasa 100 pentru a asigura zero contaminare metalică sau organică.

Echipa noastră de ingineri lucrează îndeaproape cu producătorii de scule OEM pentru a personaliza modelele de fante, dimensiunile și interfețele de montare. Alegând Semicorex, investiți într-o componentă care reduce timpul de nefuncționare, îmbunătățește acuratețea suprapunerii și reduce costul total de proprietate prin durabilitate extremă.