Barci ceramice sic

Barcile ceramice semicorexe SIC sunt transportatori de ultimă generație special concepute pentru a transporta, stoca și prelucra în siguranță napolitane cu semiconductor în cele mai solicitante medii extreme din punct de vedere chimic și termic. Industria semiconductorilor a adoptat rapid noi standarde de performanță care au impus bărcilor ceramice SIC pentru a obține în mod fiabil, cu încredere și fără contaminare, să obțină cerințele intolerante și critice pentru procesele moderne de fabricație a waferului.

Stabilitate termică puternică și rezistență

Atributul definitoriu al bărcilor ceramice SIC este stabilitatea termică foarte mare. Barcile ceramice SIC pot suporta temperatura mai mare de 1600 ° C, fără a -și pierde forma sau structura în timpul proceselor agresive de ciclism termic. Datorită coeficientului de expansiune termică ultra-scăzută, bărcile ceramice SIC sunt mai puțin predispuse la distorsiune și fisură, permițând toleranțe strânse și siguranță generală a plafonului în timpul manipulării în condiții rigide.

Puritate ridicată și rezistență chimică

Barcile ceramice SIC sunt fabricate din carbură de siliciu de puritate ultra-înaltă. Barcile ceramice SIC sunt, de asemenea, foarte rezistente la degradarea chimică, corozivă și plasmă erodată. Natura inertă a bărcilor ceramice SIC înseamnă procese de gaze corozive, medii reactive, condiții acide nu ar forma nici o contaminare din barcă, fie nimic solubil pentru a dăuna procesului de lucru. Suprafața necontaminantă a bărcilor ceramice SIC nu permite generarea de particule sau scurgerea ionilor, astfel că o suprafață de placă nu este periculoasă de impurități care împiedică performanța sau producția dispozitivului.

Inginerie de precizie pentru o manevrabilitate sigură și sigură a waferului

Barcile ceramice SIC sunt fabricate în toleranțe strânse, permițându -le să se ocupe de napolitane cu diferite diametre, inclusiv 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm și mai mult. Proiectarea structurală a bărcilor SIC oferă o platformă excelentă, paralelism și dimensiunea uniformă a slotului pentru a menține orientarea corespunzătoare a wafer -ului și pentru a proteja marginile plafonului atunci când se transferă la un alt proces sau instrument. Toate bărcile SIC pot fi proiectate cu dimensiuni personalizate pentru a se potrivi cu setul de instrumente sau pentru a îndeplini orice specificații de automatizare.

Durată de viață lungă și mai eficientă din punct de vedere al costurilor

SIC înlocuiește materialele tradiționale (cuarț, alumină) cu rezistență mecanică îmbunătățită semnificativ, rezistență la fractură și rezistență la șoc termic. Acest nivel de durabilitate se traduce printr -o viață mai lungă înainte de „eșec”, semnificativ mai puține înlocuiri în timpul funcționării și costurile totale mai mici de proprietate. Coerența performanței din durabilitatea SIC va reduce timpul de reducere și va accelera debitul pe liniile de fabricație a semiconductorilor.

Aplicații deschise în procesele semiconductoare

Barcile ceramice SIC sunt utilizate pe scară largă în procesele semiconductoare front-end, cum ar fi:

LPCVD și depunerea pecvd

Oxidarea termică

Implantare ionică

Recuperare și difuzie

Curățarea waferului și prelucrarea chimică

Mânerele ceramice SIC au aplicații de procesare compatibile atât în camerele de proces de atmosferă, cât și în procesul de vid, ceea ce îl face o alegere ideală pentru turnătorii și fabricile care doresc să minimalizeze și să reducă riscul de contaminare, în timp ce îmbunătățesc productivitatea.