Palete sic cantilever

Paletele de cantilever semicorex SIC sunt componente de înaltă performanță care sunt concepute tocmai pentru manipularea plafonului și transportul de plafon în echipamente de procesare termică cu semiconductor (LPCVD, PECVD, oxidare și cuptoare de difuzie). Aceste palete cantilever oferă o platformă pentru napolitane și o formă necesară de suport, care asigură un transport stabil și fiabil al napolitanelor fragile prin procese dure de temperatură ridicată (care depășește adesea 1200 ° C). Paletele de cantilever sunt fabricate din carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC), care asigură durabilitate mecanică, stabilitate termică și proprietăți anti-corozive pentru mediul de fabricare a semiconductorului.

Carbura de siliciu este un material ceramic super-premium, cu o conductivitate termică excelentă, o expansiune termică scăzută și capacitatea de a efectua în mod fiabil în medii ostile chimic. Carbură de siliciu în palete cu cantilever poate ajuta la reducerea deformării termice

 și mișcare care menține napolitane plate și în poziția lor nominală de procesare. Stabilitatea termică a waferului în contextul paletelor cu cantilever este importantă pentru a minimiza problemele de contaminare a particulelor și mișcarea mecanică, în special atunci când se produce dispozitive cu noduri avansate. Aceste probleme pot duce la pierderea randamentului sau la refacerea costisitoare și înlocuirea napolitanelor.

Forma monolitică a paletei SiC Cantilever îmbunătățește robustetea mecanică și uniformitatea termică, eliminând în același timp articulațiile și punctele slabe care pot exista de obicei în compozite. Mai mult, finisajul de suprafață al padelelor este controlat în mod specific și, în general, lustruit la o calitate aproape oglindă pentru a minimiza generarea de particule și este foarte curată.

În procesele de difuzie și oxidare care implică oxigen, abur și alte gaze reactive; Materialele convenționale se pot derula sau se pot deforma în timp. Proprietatea inerentă inerentă a SIC asigură că paletele nu vor depăși, nici nu vor coroda și va introduce contaminarea la proces din cauza utilizării materialelor instabile, contribuind la un proces mai stabil și la rezultate fiabile.  Integritatea structurală a paletei de cantilever sic rămâne stabilă, în ciuda ciclului rapid de încălzire și răcire. Prin urmare, acestea oferă o durată de viață operațională îndelungată, cu întreținere mult redusă sau timp de înlocuire a pieselor.

În plus, masa redusă și greutatea ușoară a padelelor SIC permit un răspuns termic mai rapid; Prin urmare, permițând o creștere termică mai rapidă și perioade de răcire care contribuie la creșterea productivității și a eficienței energetice, toate valorile majore în peisajul competitiv al fabricării semiconductorilor.

Paletele Sic Cantilever pot fi furnizate într -o varietate de configurații și dimensiuni, proiectate și fabricate pentru a găzdui diverse modele de cuptor și dimensiuni de placă cuprinse între 100 mm și 300 mm și mai mari. Integratorii de echipamente OEMS apreciază consistența și fiabilitatea paletelor SIC în timp, pentru implementări atât în procesele front-end, cât și în cele din urmă.

Semicorex oferă palete premium SIC Cantilever, cu control strâns asupra purității materialului, microstructurii și toleranțelor dimensionale. Capacitățile noastre avansate de proces, însoțite de cunoștințele noastre despre dinamica termică semiconductoare, ne permit să producem palete cu aceste atribute care îndeplinesc sau depășesc standardele industriei pentru stabilitate, curățenie și durabilitate. Când trebuie să fie corect și de încredere, Semicorex este locul pentru a merge pentru componente SIC de calitate.