Barcă SiC

Semicorex SiC Boats sunt realizate meticulos din ceramică SiC de înaltă puritate, un material celebrat pentru stabilitatea termică de neegalat, rezistența mecanică excepțională și inerția chimică neclintită. Aceste calități îl fac alegerea perfectă pentru condițiile riguroase de fabricare a semiconductorilor.

Ambarcațiunile SiC se laudă cu o rezistență mecanică și o durabilitate de neegalat, datorită durității materialului și rezistenței excepționale la uzură. Acest lucru le permite să suporte natura solicitantă a mediilor de producție de semiconductori cu randament ridicat, fără a ceda uzurii treptate. Spre deosebire de alte materiale, SiC își menține integritatea structurală de-a lungul timpului, reducând în mod semnificativ nevoia de înlocuiri frecvente și minimizând timpul de nefuncționare în operațiunile de producție – conducând în cele din urmă la economii substanțiale de costuri pentru producătorii de semiconductori.

Inerția chimică a SiC își solidifică și mai mult adecvarea pentru procesele semiconductoare, făcându-l foarte rezistent la atacul chimic din partea gazelor reactive și a materialelor utilizate în mod obișnuit, cum ar fi clorul și fluorul. Această rezistență robustă asigură că bărcile SiC nu contaminează napolitanele în timpul procesării, menținând astfel puritatea și calitatea dispozitivelor semiconductoare fabricate. Pentru procesele care necesită un nivel și mai mare de rezistență chimică, ambarcațiunile din SiC pot fi acoperite cu un strat suplimentar de SiC, oferind o barieră suplimentară împotriva atacului chimic și ridicând finisajul suprafeței ambarcațiunii pentru a diminua riscul de contaminare cu particule.

Puritatea ridicată a ceramicii SiC utilizată în aceste bărci este critică, deoarece fabricarea semiconductoarelor impune materiale cu impurități minime. Chiar și urme de contaminanți pot afecta proprietățile electrice ale plachetelor și pot duce la defecte ale dispozitivelor finale. Bărcile SiC sunt fabricate din ceramică SiC de puritate ultra-înaltă pentru a se asigura că nu introduc impurități în mediul procesului, chiar și în temperaturile ridicate și condițiile reactive tipice fabricării semiconductoarelor. Această puritate solidifică fiabilitatea bărcilor SiC pentru etapele critice ale procesului.

Compatibilitatea SiC Boats cu diverse echipamente semiconductoare este primordială. Versatilitatea SiC îi permite să fie prelucrat cu precizie pentru a se potrivi dimensiunilor și configurațiilor specifice cerute de diferitele tipuri de cuptoare și reactoare cu semiconductori, făcându-le potrivite pentru o gamă largă de aplicații, de la operațiuni de cercetare și dezvoltare la scară mică până la linii de producție la scară largă. În plus, conductivitatea termică excepțională și proprietățile de disipare a căldurii ale materialului contribuie la un control mai eficient al temperaturii în timpul procesării, îmbunătățind și mai mult performanța și randamentul dispozitivelor semiconductoare.