Suporturi de bărci sic

Deținătorii de bărci cu semicorex SIC sunt dispozitive de susținere de precizie concepute pentru a ține bărcile de placă în timpul proceselor de temperatură ridicată în fabricarea semiconductorilor. Fabricate din carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC), acești suporturi prezintă o stabilitate termică excelentă, rezistență chimică și rigiditate mecanică, caracteristici esențiale atunci când sunt utilizate în procese precum difuzia, oxidarea și creșterea epitaxială.

În medii de fabricație a semiconductorilor solicită, protejarea integrității plafonului și minimizarea contaminării este crucială. Deținătorii de bărci SIC oferă o platformă solidă, inertă, care poate tolera medii extreme ale cuptorului, menținând în același timp integritate fără deformare și fără eliberarea de contaminanți. Inerea lor chimică permite utilizarea lor cu gaze de proces reactiv, în timp ce transmiterea lor termică promovează chiar încălzirea suprafeței napolitane pentru prelucrarea constantă.

Fiecare suport pentru barca SIC este fabricat cu o toleranță ridicată pentru precizia dimensională, ceea ce le face ușor de acomodat și de adaptat la orice tip de barcă wafer și configurații automate de încărcare. Structura lor rigidă nu numai că creează un suport puternic, stabil și adecvat pentru bărcile de placă, dar reduce și șansa micro-vibrațiilor sau schimbările poziționale pe napolitane. În plus, carbura de siliciu are o rezistență excelentă la uzură și poate face față ciclismului de căldură repetat pentru a oferi o viață lungă, ceea ce duce la o perioadă de oprire mică și înlocuirea pieselor flaconului.

Atributele unice ale carburii de siliciu pot oferi beneficii suplimentare în ceea ce privește curățenia proceselor. Spre deosebire de metale sau materiale ceramice de grad inferior, SIC nu se fulgează, nu se degradează sau se degradează chimic la temperaturi extreme sau în plasmă. Acest lucru face ca deținătorii de barcă SIC să fie un instrument excelent pentru producătorii care încearcă să limiteze contaminarea camerei curate pentru nodurile avansate cu semiconductor care necesită un randament ridicat și puritate.

Deținătorii de bărci SIC SIM sunt produse folosind procese unice de modelare și sinterizare care asigură microstructura uniformă și performanța mecanică între loturi și de -a lungul mai multor suporturi de bărci. De exemplu, forma suportului sau configurația slotului poate fi personalizată, precum și tipul de montare.

Indiferent dacă sunt utilizate în cuptoarele verticale sau în reactoarele orizontale, personalizarea deținătorilor de bărci cu semicorex SIC va îndeplini toleranțele pentru manufactring semiconductor de generație următoare. Dacă alegeți produse Semicorex, veți ști că ați lucrat cu un furnizor care este cunoscător, dedicat excelenței materiale și se străduiește să inoveze continuu componente ceramice în ceea ce privește fiabilitatea și livrarea.