Componentele Semicorex avansate, de înaltă puritate, acoperite cu carbură de siliciu, sunt construite pentru a rezista la mediile extreme în procesul de manipulare a plachetelor. Mandrina noastră pentru napolitană cu semiconductor are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Semicorex Semicorex Semiconductor Wafer Mandrinul ultraplat este acoperit cu SiC de înaltă puritate, utilizat în procesul de manipulare a plachetelor. Semiconductor Wafer Chuck de echipamente MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o mare stabilitate în medii extreme și îmbunătățește managementul randamentului pentru procesarea plăcilor semiconductoare. Configurațiile cu contact cu suprafața scăzută minimizează riscul de particule din spate pentru aplicații sensibile.
Parametrii mandrinei pentru napolitane cu semiconductor
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structura de cristal |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici ale mandrinei Wafer Semiconductor
- Acoperiri cu carbură de siliciu CVD pentru a îmbunătăți durata de viață.
- Capabilitati ultra-plate
- Rigiditate mare
- Expansiune termică scăzută
- Rezistenta extrema la uzura