Placă de satelit

Placa de satelit semicorex este un purtător de napolitane vitale în timpul procesului de creștere epitaxială, garantând depunerea uniformă și eficiența optimă a procesului. Construită din grafit de înaltă puritate și acoperită cu un strat robust de carbură de siliciu (SIC), această placă oferă o stabilitate termică excepțională, rezistență chimică și rezistență mecanică, solidificându-și poziția ca o componentă indispensabilă la fabricarea semiconductorilor de înaltă performanță.

Cu o bază de grafit de înaltă puritate, placa de satelit excelează în conductivitatea termică și integritatea structurală.Acoperire sicCrește semnificativ durabilitatea acestuia, oferind rezistență la temperatură ridicată, inerție chimică și reducerea dramatică a generarii de particule. Această combinație puternică asigură că placa suportă condiții dure de procesare dure, în timp ce efectuează constant la un nivel înalt. Baza de grafit facilitează transferul de căldură eficient, asigurând o distribuție uniformă a temperaturii pe placă, în timp ce acoperirea SIC protejează împotriva gazelor de proces corozive, împiedicând contaminarea și prelungind durata de viață a serviciului. În plus, suprafața SIC reduce la minimum eliberarea de particule, ceea ce este esențial pentru realizarea fabricării semiconductorului cu randament ridicat.

Proiectat special pentru o integrare perfectă cu sisteme Aixtron G5+, placa de satelit garantează poziționarea precisă a plafonului și un echilibru de rotație, esențial pentru menținerea condițiilor termice stabile și reducerea ratelor de defecte. Compoziția materială avansată a plăcii nu numai că își extinde durata de viață, ci și scade semnificativ costurile operaționale și îmbunătățește productivitatea producției.

Utilizat în principal în procesul de depunere a vaporilor chimici organici metalici (MOCVD), placa de satelit este crucială pentru creșterea straturilor epitaxiale pe napolitane cu semiconductor. Acesta joacă un rol esențial în producerea de dispozitive semiconductoare avansate, inclusiv LED-uri, electronice de putere bazate pe SIC și GaN, componente fotonice și optoelectronice și dispozitive RF de înaltă frecvență. Prin asigurarea condițiilor termice stabile și minimizarea contaminării, placa de satelit garantează o creștere constantă a stratului epitaxial, ceea ce duce la îmbunătățirea manipulării waferului și a ratelor de randament mai mari. Proiectarea sa optimizată asigură eficient sprijinul wafer, reducând defectele și asigurând precizia în etapele de procesare a semiconductorului.

Placa de satelit Semicorex servește ca o componentă esențială pentru reactoarele de epitaxie Aixtron G5+, oferind o durabilitate inegalabilă, rezistență chimică și performanță termică. Compoziția și ingineria materialelor de ultimă oră fac esențială pentru procesul de fabricație a semiconductorilor, asigurând producerea de napolitane de înaltă calitate și de înaltă calitate. Investiți în placa de satelit pentru a vă ridica fabricarea semiconductorului și pentru a obține excelență în procesele de creștere epitaxială.