Efector final al robotului

Semicorex este un producător independent de lider de grafit acoperit cu carbură de siliciu, grafit de înaltă puritate prelucrat cu prelucrare cu precizie, concentrându-se pe domeniile de producție de semiconductori cu carbură de siliciu, ceramică cu carbură de siliciu și MOCVP. Efectorul nostru final de robot are un avantaj bun de preț și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Robot End Effector este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi. Robot End Effector trebuie să fie precis dimensional și stabil din punct de vedere termic, având în același timp o suprafață netedă, rezistentă la abraziune, pentru a manipula în siguranță napolitanele fără a deteriora dispozitivele sau a produce contaminare cu particule. Acoperirea noastră cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) Robot End Effector oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică chiar pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă.

Parametrii efectorului final al robotului

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300