Tub de proces pentru cuptoare de difuzie

Tubul de proces Semicorex pentru cuptoare de difuzie este de obicei fabricat din SiC de înaltă puritate cu acoperire CVD SiC. Aceste materiale sunt alese pentru stabilitatea lor termică excelentă și rezistența la gaze corozive și temperaturi ridicate.

Tubul de proces Semicorex pentru cuptoare de difuzie este de formă cilindrică, cu capătul închis și capătul deschis. Este introdus în cuptorul de difuzie, formând o cameră etanșă în care are loc procesul de difuzie. Tubul este proiectat cu grijă pentru a preveni orice scurgere de gaze și pentru a menține o atmosferă controlată în cuptor.

un tub de proces pentru cuptoarele de difuzie joacă un rol crucial în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Oferă un mediu controlat pentru procesele de difuzie, asigurând profiluri de dopaj uniforme și control precis asupra parametrilor procesului. Utilizarea materialelor de înaltă puritate și considerentele de proiectare atentă ajută la menținerea integrității tubului de proces și asigură producerea de plachete semiconductoare de înaltă calitate.