Mandrine de vid SiC poroase

Semicorex SiC porosmandrine cu vidsunt componentele indispensabile, care pot fi utilizate pe scară largă în procesele avansate de fabricație a semiconductoarelor, cum ar fi subțierea plachetelor, tăierea cubulețelor, șlefuirea, lustruirea, fotolitografia, gravarea. Platforma lor de adsorbție este construită cu o placă ceramică SiC poroasă cu numeroși pori la scară de microni distribuiți uniform. Cu un diametru constant al porilor și o rată excepțională de trecere, mandrinele de vid SiC poroase Semicorex oferă o cale lină a gazului pentru evacuarea în vid. În timpul funcționării, presiunea negativă stabilă și uniformă este generată între mandrina și plachetă, permițând strângerea cu vid de înaltă eficiență și eliberarea plăcilor semiconductoare.

Avantajele mandrinelor de vid SiC poroase Semicorex 

1. Precizie excepțională de prelucrare

Placile semiconductoare procesate în producția avansată de semiconductori sunt extrem de subțiri, astfel încât chiar și îndoirea ușoară, vibrațiile sau stresul local neuniform pot duce la ruperea, deformarea și precizia redusă a plăcilor în procese critice precum litografia. SemicorexSiC porosmandrinele cu vid sunt prelucrate prin șlefuire și lustruire de înaltă precizie, obținând o rugozitate perfectă a suprafeței de Ra ＜ 0,1 μm. Acest lucru permite mandrinelor de vid SiC poroase Semicorex să ofere o suprafață operațională optimizată pentru fabricarea de semiconductori de înaltă precizie.

2. Curățenie ridicată și rezistență ridicată la coroziune

Pentru a îndeplini pe deplin standardele stricte de curățenie a semiconductoarelor, Semicorex produce mandrine de vid SiC poroase cu materii prime de carbură de siliciu de înaltă puritate prin sinterizare la temperatură înaltă. Acest lucru asigură că mandrinele sunt lipsite de scurgerea de particule și contaminarea metalică migrabilă. Beneficiind de stabilitatea chimică excelentă a SiC, mandrinele de vid SiC poroase Semicorex sunt capabile să reziste la mediile dure de coroziune și să nu genereze produse secundare suplimentare, ceea ce le face foarte potrivite pentru procesele de fabricare a semiconductoarelor curate de înaltă calitate.

3. Durabilitate excelentă și stabilitate pe termen lung

Mandrinele de vid utilizate în liniile de producție trebuie să reziste la mii de cicluri de adsorbție și eliberare, precum și la fluctuațiile de temperatură pe termen lung. Acest lucru impune cerințe extrem de ridicate asupra performanței materialelor mandrinelor de vid. Mandrinele de vid SiC poroase Semicorex prezintă o duritate remarcabilă a materialului și rezistență la uzură, cu expansiune termică stabilă. Ele nu prezintă fluaj sau degradare a performanței în condiții de temperatură ridicată, ceea ce le prelungește semnificativ durata de viață și reduce frecvența de întreținere și înlocuire a componentelor.