Susceptor planetar

Semicorex Planetar Susceptor este o componentă indispensabilă pentru reactoarele de epitaxie semiconductor, concepută în mod special pentru echipamentul Aixtron G5+. Construit din grafit de înaltă puritate șiAcoperit cu carbură de siliciu (SIC), acest susceptor garantează o stabilitate termică superioară, o rezistență chimică excepțională și o performanță inegalabilă în medii la temperaturi ridicate.

Reactorul de epitaxie aixtron G5+ reprezintă un punct de referință în industrie pentru GAN, SIC și alte procese de creștere a semiconductorilor compuși. Susceptorul planetar este esențial în optimizarea debitului de gaz, asigurând o rotație precisă a plafonului, menținând controlul exact al temperaturii și obținând depunerea uniformă a straturilor epitaxiale. Designul său inovator îmbunătățește semnificativ repetabilitatea procesului, ceea ce îl face alegerea ideală pentru mediile de producție cu volum mare.

Caracteristici cheie  

- Compoziție materială avansată: realizată din grafit de înaltă puritate cu un acoperire SIC, oferind o durabilitate și rezistență sporită la condițiile de proces dure.  

- Performanță termică optimizată: asigură o distribuție uniformă a căldurii, critică pentru creșterea stratului epitaxial de înaltă precizie.  

- Rezistență chimică: Acoperirea SiC previne oxidarea grafitului, extinzând durata de viață a susceptitorului și menținând puritatea procesului.  

- Precision Engineering: Proiectat pentru a satisface cerințele stricte ale sistemelor AIXTRON G5+, asigurând integrarea perfectă și eficiența optimă a reactorului.  

- uniformitate ridicată a suprafeței: minimizează contaminarea particulelor, susținând o calitate superioară a plafonului și un randament mai mare în fabricarea semiconductorilor.  

Avantajele susceptorului nostru planetar  

- Durata de viață extinsă:Acoperire sicReduce semnificativ uzura, ceea ce duce la o frecvență de înlocuire mai mică și la reducerea costurilor operaționale.  

- Stabilitatea procesului îmbunătățită: asigură încălzirea constantă și gradienții termici minimi, ceea ce duce la o producție de wafer de înaltă calitate.  

- Compatibilitate și personalizare: Disponibil în modele standard și personalizate pentru a satisface cerințele de proces AIXTRON G5+ specifice.  

GrafitPiesele joacă un rol indispensabil și foarte important în procesul de semiconductor. Calitatea materialelor de grafit are un impact mare asupra calității produselor finite. Coerența noastră de lot de grafit și omogenitatea materială pot fi controlate și garantate prin procesul de producție.

1. Producție mică de lot, cuptorul de carbonizare folosește doar un mic cuptor cu doar 50 de metri cubi

2. Fiecare material este monitorizat și urmărit

3. Monitorizarea temperaturii cu mai multe puncte în spațiul cuptorului pentru a se asigura că diferența de temperatură este păstrată într-un interval foarte mic

4. Monitorizarea temperaturii cu mai multe puncte pe material pentru a se asigura că diferența de temperatură este păstrată într-un interval foarte mic

Susceptorul planetar semicorex este soluția premium pentru reactoarele AIXTRON G5+, oferind stabilitate termică excepțională, rezistență chimică și performanță de precizie. Proiectată pentru cele mai solicitante procese de fabricație a semiconductorilor, conduce randamente mai mari de wafer, minimizează riscul de contaminare și extinde durata de viață a echipamentului. Actualizați-vă sistemul de epitaxie cu un susceptor de top pentru rezultate de neegalat.