Homoepitaxia și heteroepitaxia joacă roluri esențiale în știința materialelor. Homoepitaxia presupune creșterea unui strat cristalin pe un substrat din același material, asigurând defecte minime datorită potrivirii perfecte a rețelei. În schimb, heteroepitaxia crește un strat cristalin pe un substra......
Citeşte mai multPentru a atinge cerințele de înaltă calitate ale proceselor de circuite cu cip IC cu lățimi de linie mai mici de 0,13 μm până la 28 nm pentru plachete de lustruire cu siliciu cu diametrul de 300 mm, este esențial să se minimizeze contaminarea cu impurități, cum ar fi ionii metalici, pe suprafața pla......
Citeşte mai mult