Încălzitoare ceramică

În procesul front-end (FEOL) al producției de semiconductori,placăTrebuie să fie supusă diferitelor tratamente de proces, în special placa de placă trebuie încălzită la o anumită temperatură și există cerințe stricte, deoarece uniformitatea temperaturii are un impact foarte important asupra randamentului produsului; În același timp, echipamentele semiconductoare trebuie să funcționeze în prezența gazelor de vid, plasmă și chimice, ceea ce necesită utilizarea de încălzitoare ceramice.Încălzitoare ceramicăsunt componente importante ale echipamentelor de depunere a filmelor subțiri cu semiconductor. Acestea sunt utilizate în camera de proces și contactați direct placa pentru a transporta și a permite plafonului să obțină o temperatură de proces stabilă și uniformă și să reacționeze cu o precizie ridicată pe suprafața plafonului pentru a genera filme subțiri.

Deoarece echipamentul de depunere a filmului subțire utilizat de încălzitoarele ceramice implică temperaturi ridicate, în general sunt utilizate materiale ceramice bazate în principal pe nitrură de aluminiu (ALN). Deoarece nitrura de aluminiu are izolație electrică și conductivitate termică excelentă; În plus, coeficientul său de expansiune termică este aproape de cel al siliciului și are o rezistență excelentă la plasmă, este foarte potrivit pentru a fi utilizat ca componentă a echipamentului semiconductor.

Chuck -urile electrostatice (ESC) sunt utilizate în principal în echipamentele de gravare, în principal oxid de aluminiu (AL2O3). Deoarece mand -ul electrostatic în sine conține, de asemenea, un încălzitor, luând ca exemplu gravarea uscată, este necesar să se controleze placa la o temperatură specifică în intervalul de -70 ℃ ~ 100 ℃ pentru a menține o anumită caracteristică de gravare. Prin urmare, placa trebuie să fie încălzită sau disipată de mand -ul electrostatic pentru a controla cu exactitate temperatura plafonului. În plus, pentru a asigura uniformitatea suprafeței de placă, mand -ul electrostatic trebuie adesea să crească zona de control al temperaturii pentru a controla temperatura fiecărei zone de control al temperaturii separat pentru a îmbunătăți randamentul procesului. Desigur, odată cu dezvoltarea tehnologiei, distincția dintre încălzitoarele ceramice tradiționale și Chucks electrostatice a început să devină estompată. Unele încălzitoare ceramice au funcțiile duale de încălzire la temperaturi ridicate și adsorbție electrostatică.

Încălzitorul ceramic include o bază ceramică care poartă placa și un corp de sprijin cilindric care îl susține pe spate. În interiorul sau pe suprafața bazei ceramice, pe lângă elementul de rezistență (strat de încălzire) pentru încălzire, există și un electrod de frecvență radio (strat de frecvență radio). Pentru a obține încălzire și răcire rapidă, grosimea bazei ceramice ar trebui să fie subțire, dar prea subțire va reduce și rigiditatea. Corpul de susținere al încălzitorului este în general confecționat dintr -un material cu un coeficient de expansiune termică similar cu cel al bazei, astfel încât corpul de sprijin este adesea realizat și din nitrură de aluminiu. Încălzitorul adoptă o structură unică a unei îmbinări a arborelui (arbore) în partea de jos, care poate proteja terminalele și firele de efectele gazelor chimice plasmatice și corozive. În corpul de sprijin este prevăzută o conductă de intrare și ieșire a gazelor de conducere pentru căldură pentru a asigura temperatura uniformă a încălzitorului. Baza și corpul de sprijin sunt legate chimic cu un strat de legătură.

Semicorex oferă de înaltă calitateÎncălzitoare ceramică. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, nu ezitați să luați legătura cu noi.

Telefon de contact # +86-13567891907

E -mail: sales@semhorex.com