Susceptor monocristalin al plăcilor de siliciu

Semicorex Monocristalin Silicon Wafer Susceptor este soluția ideală pentru procesele de epitaxie și manipulare a plachetelor cu grafit. Produsul nostru ultra-pur asigură o contaminare minimă și o performanță excepțională de lungă durată, făcându-l o alegere populară pe multe piețe europene și americane. În calitate de furnizor de top de purtători de placă semiconductoare în China, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Susceptorul epitaxial din silicon monocristalin este un produs din grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate, care are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul acoperit cu carbură de siliciu CVD este utilizat în procesele care formează stratul epitaxial pe plăcile semiconductoare. Are o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii, care sunt esențiale pentru procese eficiente și precise de fabricare a semiconductorilor.
Una dintre caracteristicile cheie ale susceptorului nostru de siliciu monocristalin este densitatea sa excelentă. Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive. Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței, care este esențială pentru menținerea producției de plachete de înaltă calitate.
O altă caracteristică importantă a produsului nostru este capacitatea sa de a reduce diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu. Acest lucru îmbunătățește în mod eficient rezistența de lipire, prevenind fisurarea și delaminarea. În plus, atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii, asigurând că căldura este distribuită uniform în timpul procesului de fabricație.
Susceptorul nostru de napolitană de siliciu monocristalin este, de asemenea, rezistent la oxidarea la temperaturi înalte și la coroziune, făcându-l un produs fiabil și durabil. Punctul său de topire ridicat asigură că poate rezista la mediul de temperatură ridicată necesar pentru fabricarea eficientă a semiconductoarelor.
În concluzie, Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor este o soluție ultra-pură, durabilă și fiabilă pentru procesele de epitaxie și manipulare a plachetelor cu grafit. Densitatea sa excelentă, planeitatea suprafeței și conductivitatea termică îl fac ideal pentru utilizare în medii cu temperaturi ridicate și corozive. Ne mândrim să oferim produse de înaltă calitate la prețuri competitive și așteptăm cu nerăbdare să colaborăm cu dvs. pentru toate nevoile dvs. de purtător de placă semiconductoare.

Parametrii susceptorului monocristalin ai plăcilor de siliciu

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile susceptorului monocristalin al napolitanelor de siliciu

- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața
Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C
Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.
Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
- Obțineți cel mai bun model de flux de gaz laminar
- Garantează uniformitatea profilului termic
- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților