Susceptor epitaxial de siliciu monocristalin

Perfect pentru procesele de epitaxie din grafit și de manipulare a plachetelor, susceptorul epitaxial din silicon monocristalin ultra-pur Semicorex asigură o contaminare minimă și oferă o durată de viață excepțional de lungă. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Susceptorul epitaxial de siliciu monocristalin Semicorex este un produs din grafit acoperit cu SiC foarte purificat, care are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul acoperit cu carbură de siliciu CVD utilizat în procesele care formează stratul epitaxial pe plachetele semiconductoare, care are o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
Susceptorul nostru epitaxial de siliciu monocristalin este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminări sau difuzarea impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre susceptorul nostru epitaxial de siliciu monocristalin.

Parametrii susceptorului epitaxial de siliciu monocristalin

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitate termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile susceptorului epitaxial de siliciu monocristalin

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.
- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.
- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.
- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.