Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Inelul nostru de etanșare de intrare MOCVD are un avantaj bun de preț și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.
Inelul de etanșare de intrare Semicorex cu carbură de siliciu MOCVD este un grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate, utilizat în procesul de depunere, de manipulare a plachetelor. Inelul de etanșare de intrare MOCVD acoperit cu SiC are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în medii extreme.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de inel de etanșare de intrare MOCVD de înaltă calitate și rentabil, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.
Parametrii inelului de etanșare de intrare MOCVD
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structura de cristal |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici ale inelului de etanșare de intrare MOCVD
Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.