Inele de admisie MOCVD

Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Inelele noastre de intrare MOCVD au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex furnizează inele de intrare MOCVD utilizate în depunerea și prelucrarea plachetelor, care sunt cu adevărat stabile pentru curățarea RTA, RTP sau chimică puternică. Inelele noastre de admisie MOCVD au o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică chiar pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă. Acoperirea cu cristale de SiC fin oferă o suprafață curată, netedă, critică pentru manipulare, deoarece napolitanele curate intră în contact cu susceptorul în multe puncte de pe întreaga lor zonă.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de inele de admisie MOCVD de înaltă calitate, rentabile, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii inelelor de intrare MOCVD

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300