Sistem de reactoare de epitaxie în fază lichidă (LPE).

Sistemul de reactoare Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) este un produs inovator care oferă performanțe termice excelente, profil termic uniform și aderență superioară a stratului de acoperire. Puritatea sa ridicată, rezistența la oxidare la temperaturi înalte și rezistența la coroziune îl fac o alegere ideală pentru utilizarea în industria semiconductoarelor. Opțiunile sale personalizabile și rentabilitatea fac din acesta un produs extrem de competitiv pe piață.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Sistemul nostru de reactoare pentru epitaxie în fază lichidă (LPE) este un produs extrem de fiabil și durabil, care oferă un raport calitate-preț excelent. Rezistența sa la oxidare la temperatură înaltă, chiar profilul termic și prevenirea contaminării îl fac ideal pentru creșterea stratului epitaxial de înaltă calitate. Cerințele sale reduse de întreținere și personalizarea îl fac un produs extrem de competitiv pe piață.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de produse de înaltă calitate, rentabile clienților noștri. Sistemul nostru de reactoare de epitaxie în fază lichidă (LPE) are un avantaj de preț și este exportat pe multe piețe europene și americane. Ne propunem să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de calitate consistentă și servicii excepționale pentru clienți.

Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre sistemul nostru de reactoare cu epitaxie în fază lichidă (LPE).

Parametrii sistemului reactor de epitaxie în fază lichidă (LPE).

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitate termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale sistemului reactor de epitaxie în fază lichidă (LPE).

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.