Barci orizontale din carbură de siliciu

Semicorex orizontalbărci cu carbură de siliciusunt formate integral folosind tehnologia de imprimare 3D și apoi fabricate prin sinterizare la temperatură înaltă. Construite special pentru a se potrivi cu diferite dimensiuni de cuptoare orizontale la temperatură înaltă, aceste componente sunt aplicate pe scară largă pentru a asigura ferm retenția plachetelor în procesele critice de fabricare a semiconductoarelor la temperatură înaltă, inclusiv difuzia, oxidarea și depunerea chimică a vaporilor.

Proprietățile fizico-chimice ale carburii de siliciu

Avantajele bărcii orizontale din carbură de siliciu Semicorexs

1.Suport stabil și poziție

Rezistența și duritatea materialului de neegalat conferă bărcilor orizontale din carbură de siliciu Semicorex o capacitate excelentă de susținere, ceea ce le permite să transporte stabil mai multe napolitane simultan. Prin prelucrarea cu fante de precizie, barcile orizontale din carbură de siliciu Semicorex pot fixa ferm și ține în siguranță plăcile semiconductoare. Structura slot uniform distanțată asigură menținerea unei poziții fixe a plachetelor pe tot parcursul ciclului de procesare, garantând astfel consistența și precizia proceselor de fabricație a semiconductorilor.

2.Compatibilitate cu condiții complexe de funcționare

Datorită rezistenței superioare la temperaturi înalte și rezistenței la coroziune, bărcile orizontale din carbură de siliciu Semicorex sunt capabile să reziste în medii de operare riguroase, cum ar fi atmosfere la temperaturi înalte de oxigen, azot sau acid clorhidric cu concentrație scăzută. Aceste proprietăți excepționale ale materialelor pot preveni eficient coroziunea și daunele cauzate de gazele corozive la temperatură înaltă, care prelungesc foarte mult durata de viață operațională a bărcilor.

3. Performanță excepțională de curățenie

Spre deosebire de bărcile convenționale din grafit acoperite cu carbură de siliciu, bărcile orizontale din carbură de siliciu Semicorex sunt fabricate din calitate semiconductoare, de înaltă puritatecarbură de siliciu(99,999%) cu conținut ultra-scazut de impurități. Această selecție de materiale premium elimină riscul degazării contaminanților sau decojirea stratului de acoperire, chiar și atunci când este expus la temperaturi ridicate și medii corozive dure. În plus, fiecare dintre bărcile noastre cu carbură de siliciu este supusă unor procese stricte de curățare cu ultrasunete înainte de ambalarea în vid, ceea ce garantează conformitatea cu standardele de curățenie cerute de procesele avansate de fabricație a semiconductorilor.