Cuptor de cameră orizontală SIC bărci

Cuptorul de cameră orizontală semicorexă Barcile SIC sunt o parte extrem de proiectată, care deține și transportă napolitane sau substraturi în timp ce sunt supuse procesării termice la temperaturi ridicate într-un cuptor de cameră orizontală. Barca de placă este făcută din sic de înaltă puritate legată carbură de siliciu (sic), care oferă combinația unică de rezistență, stabilitate termică și rezistență chimică ridicată, care sunt solicitate în procesele de ceramică semiconductor, fotovoltaic și avansat. De asemenea, barca de wafer acționează ca o structură rigidă pentru a ține napolitane în poziție, stabilitatea dimensională și precizia napolitanelor nu se vor pierde prin expunerea extinsă la temperaturile extreme de proces.

Proprietățile superioare ale carburii de siliciu asigură cuptorul de cameră orizontal SIC un avantaj de performanță superior în comparație cu materialele tipice pentru bărcile de wafer, cum ar fi cuarțul sau alumina. Acestea pot rezista mai bine la cicluri de încălzire și răcire rarente rare, datorită punctului lor de topire ridicat, rezistenței la șocuri termice și rezistenței mecanice, indiferent de viteza de încălzire și răcire sau extremele ciclului termic. Deoarece un cuptor orizontal se bazează în totalitate pe consistența pozițiilor napolitane și la expunerea condițiilor de proces, alinierea corectă a napolitanelor prevede un randament și repetabilitate consecventă. Coeficientul scăzut de expansiune termică înseamnă că barca nu va denatura de -a lungul vieții sale și nu va oferi o formă și distanțarea reținută a napolitanelor.

Structura cu granulație fină, densă a SiC recristalizată, oferă o rezistență remarcabilă la oxidare, coroziune și contaminare prin gaze de proces și produse secundare. Acest lucru face ca barca să fie deosebit de avantajoasă pentru procesele în atmosfere agresive, cum ar fi difuzarea, oxidarea, LPCVD și recoacerea. Inerea chimică ridicată a SiC evită reacțiile cu suprafețele de placă, păstrând astfel puritatea produsului și minimizând generarea de particule în cuptor. Barcile SIC pot ajuta producătorii care trebuie să răspundă cerințelor stricte de curățenie, oferind medii de procesare mai curate și o calitate îmbunătățită a plafonului.

Aceste bărci pot fi produse cu diverse geometrii complexe și dimensiuni specifice parțial, cu tehnici de prelucrare și formare de precizie. Proiectele folosesc, în general, mai multe sloturi/caneluri paralele pentru a menține napolitane în siguranță într -o orientare orizontală și expune uniform întreaga suprafață a plafonului la condiții termice. Distanța și unghiurile slot-to-slot pot fi, de asemenea, optimizate pentru a se potrivi cu napolitane cu alte diametre, cum ar fi 150 mm, 200 mm sau 300 mm și fluxul de aer direct în timpul efectelor de procesare, obținând în același timp uniformitatea temperaturii pentru procesare.

Nu numai că bărcile de cameră orizontale pot fi proiectate în plecări standard, dar pot fi proiectate pentru a lucra cu încărcătoare automate de wafer, ceea ce duce la o integrare perfectă în liniile de producție moderne cu un randament ridicat. Proiectarea robustă va face, de asemenea, bărcile mai puțin susceptibile de a se sparge sau de a se rupe în timpul manipulării și va reduce timpul de oprire și costurile pentru înlocuitori.

Conductivitatea termică aCarbură de siliciuReprezintă un alt avantaj cheie care facilitează transferul eficient de căldură între napolitane și mediul cuptorului. Avantajul este că producătorii sunt capabili să obțină condiții de procesare mai uniforme și să scurteze timpii de ciclu, ceea ce poate crește eficiența producției. Barcile SIC oferă rezultate consistente și repetabile, fie că sunt utilizate pentru fabricarea plafonului cu semiconductor, fabricarea celulelor solare sau alte procesări avansate de materiale la temperaturi ridicate.

În rezumat, Barcile SIC de cameră orizontală SIC sunt o componentă cheie pentru producătorii care doresc să producă napolitane cu transportatori de navă de înaltă performanță, de lungă durată și rezistent la contaminare. Are o rezistență mecanică, o stabilitate termică și o inerție chimică care este inegalabilă în aplicațiile de cuptoare orizontale. Alegând bărcile cu carbură de siliciu, operatorii pot folosi un control mai bun al procesului, randamente mai mari și să minimizeze întreruperile operaționale din cauza întreținerii. În general, oferă producții mai eficiente și mai eficiente.