Semicorex oferă bărci de napolitane, piedestale și suporturi personalizate de napolitane atât pentru configurații verticale / pe coloană, cât și pe orizontale. Suntem producător și furnizor de folie de acoperire cu carbură de siliciu de mulți ani. Barca noastră cu napolitană epitaxială are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Semicorex Epitaxial Wafer Boat, soluția perfectă pentru prelucrarea plachetelor în producția de semiconductori. Bărcile noastre Epitaxiale Wafer sunt fabricate din ceramică cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă calitate, care oferă rezistență superioară la temperaturi ridicate și coroziune chimică.
Barca noastră de napolitană epitaxială cu carbură de siliciu are o suprafață netedă care minimizează generarea de particule, asigurând cel mai înalt nivel de puritate pentru produsele dumneavoastră. Cu o conductivitate termică excelentă și o rezistență mecanică superioară, bărcile noastre oferă rezultate consistente și fiabile.
Bărcile noastre epitaxiale pentru napolitane sunt compatibile cu toate echipamentele standard de procesare a napolitanelor și pot rezista la temperaturi de până la 1600°C. Sunt ușor de manevrat și de curățat, ceea ce le face o alegere rentabilă și eficientă pentru nevoile dvs. de producție.
Echipa noastră de experți se angajează să ofere cea mai bună calitate și servicii. Oferim modele personalizate pentru a satisface cerințele dumneavoastră specifice, iar produsele noastre sunt susținute de programul nostru de asigurare a calității.
Parametrii bărcii napolitane epitaxiale
Proprietăți tehnice |
||||
Index |
Unitate |
Valoare |
||
Nume material |
Reacție carbură de siliciu sinterizată |
Carbură de siliciu sinterizată fără presiune |
Carbură de siliciu recristalizată |
|
Compoziţie |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densitate în vrac |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Rezistența la încovoiere |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Rezistența la compresiune |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Duritate |
Buton |
2700 |
2800 |
/ |
Ruperea tenacității |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductivitate termică |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficientul de dilatare termică |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Căldura specifică |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura maxima in aer |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulul elastic |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Diferența dintre SSiC și RBSiC:
1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.
2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.
3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC
Caracteristici ale bărcii napolitane epitaxiale din carbură de siliciu
SiC de înaltă puritate acoperit de MOCVD
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.