Depunere epitaxială CVD în reactor de butoi

Semicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor este un produs extrem de durabil și de încredere pentru creșterea straturilor epixiale pe așchii de napolitană. Rezistența sa la oxidare la temperaturi ridicate și puritatea ridicată îl fac potrivit pentru utilizarea în industria semiconductoarelor. Profilul său termic uniform, modelul de flux de gaz laminar și prevenirea contaminării îl fac alegerea ideală pentru creșterea stratului epixial de înaltă calitate.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Reactorul nostru de depunere epitaxială CVD în baril este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe fiabile în medii extreme. Aderența sa superioară a stratului, rezistența la oxidare la temperaturi înalte și rezistența la coroziune îl fac o alegere excelentă pentru utilizare în medii dure. În plus, profilul său termic uniform, modelul de flux de gaz laminar și prevenirea contaminării asigură calitatea înaltă a stratului epixial.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de produse de înaltă calitate, rentabile clienților noștri. Reactorul nostru de depunere epitaxială CVD în baril are un avantaj de preț și este exportat pe multe piețe europene și americane. Ne propunem să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de calitate consistentă și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii depunerii epitaxiale CVD în reactor de butoi

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile depunerii epitaxiale CVD în reactor de butoi

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.