Semicorex oferă ceramică de calitate semiconductoare pentru uneltele dvs. OEM de semifabricare și componentele de manipulare a plachetelor, concentrându-se pe straturile de carbură de siliciu din industriile semiconductoarelor. Suntem producători și furnizori de suporturi ceramice pentru napolitane de mulți ani. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Carbura de siliciu Ceramic Wafer Carrier are o rezistență bună la coroziune și o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și șoc termic. Un modul ridicat de elasticitate are ca rezultat o stabilitate dimensională excelentă. În plus, există o porozitate zero și o densitate scăzută a porilor a materialului ceramic.
Putem procesa toate tipurile de suporturi ceramice pentru napolitane la cerințele clienților.
Parametrii suportului de napolitană ceramică
Proprietăți tehnice |
||||
Index |
Unitate |
Valoare |
||
Nume material |
Reacție carbură de siliciu sinterizată |
Carbură de siliciu sinterizată fără presiune |
Carbură de siliciu recristalizată |
|
Compoziţie |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densitate în vrac |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Rezistența la încovoiere |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Rezistența la compresiune |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Duritate |
Buton |
2700 |
2800 |
/ |
Ruperea tenacității |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductivitate termică |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficientul de dilatare termică |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Căldura specifică |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura maxima in aer |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulul elastic |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Semicorex a produs Ceramic Wafer Carrier în trei forme, carbură de siliciu sinterizată de reacție (RBSiC), carbură de siliciu sinterizată fără presiune (SSiC) și carbură de siliciu Recrystal (R-SiC).
Diferența dintre SSiC și RBSiC:
1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.
2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.
3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC
Caracteristicile suportului pentru napolitane ceramice
Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.
Forme disponibile de ceramică cu carbură de siliciu:
● Tijă ceramică / știft ceramic / piston ceramic
● Tub ceramic / bucșă ceramică / manșon ceramic
● Inel ceramic / şaibă ceramică / distanţier ceramic
● Disc ceramic
● Placă ceramică / bloc ceramică
● Minge ceramică
● Piston ceramic
● Duza ceramica
● Crezet ceramic
● Alte piese ceramice personalizate