Batch Wafer Boat

Semicorex oferă bărci de napolitane, piedestale și suporturi personalizate de napolitane atât pentru configurații verticale / pe coloană, cât și pe orizontale. Suntem producător și furnizor de folie de acoperire cu carbură de siliciu de mulți ani. Batch Wafer Boat are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex Batch Wafer Boat sunt fabricate din material ceramic de carbură de siliciu de înaltă calitate pentru rezistență chimică superioară și stabilitate termică.
Batch Wafer Boat are o suprafață netedă și oferă suport și protecție excelentă pentru napolitană în timpul procesării. Acoperirea SiC asigură uniformitate și stabilitate în timpul procesării, protejând napolitanele de contaminare și deteriorare. Cu o conductivitate termică excelentă și o rezistență mecanică superioară, suporturile noastre pentru napolitane oferă rezultate consistente și fiabile.
Echipa noastră de experți se angajează să ofere cea mai bună calitate și servicii. Oferim modele personalizate pentru a satisface cerințele dumneavoastră specifice, iar bărcile noastre batch wafer sunt susținute de programul nostru de asigurare a calității.

Parametrii batch Wafer Boat

Proprietăți tehnice
Index	Unitate	Valoare
Nume material		Reacție carbură de siliciu sinterizată	Carbură de siliciu sinterizată fără presiune	Carbură de siliciu recristalizată
Compoziţie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densitate în vrac	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Rezistență la încovoiere	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Rezistenta la compresiune	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Duritate	Knoop	2700	2800	/
Ruperea tenacității	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivitate termică	W/m.k	95	120	23
Coeficientul de dilatare termică	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Căldura specifică	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maxima in aer	℃	1200	1500	1600
Modul elastic	Gpa	360	410	240

Diferența dintre SSiC și RBSiC:

1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.

2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.

3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC

Caracteristicile Batch Wafer Boat

- Rezistență ridicată (duritate Mohs 9,5, a doua numai după diamant)
- Rezistenta la coroziune la acizi, alcaline, saruri si solventi organici
- Conductivitate termică ridicată, rezistență la plasmă, viață lungă
- Semiconductori