Susceptor cilindric cu grafit acoperit cu carbură de siliciu

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite este o componentă specializată concepută pentru a fi utilizată în procesul de epitaxie, în special în transportul de napolitane. Acest grafit acoperit cu carbură de siliciu cu baril susceptor este fabricat din material grafit, care este cunoscut pentru conductivitatea termică excelentă și stabilitatea la temperaturi ridicate. Pentru a-și îmbunătăți performanța și durabilitatea, suprafața de grafit este acoperită cu un strat de carbură de siliciu (SiC).

Acoperirea cu carbură de siliciu din grafit acoperit cu carbură de siliciu Baril Susceptor servește mai multe scopuri cruciale în acest context. În primul rând, oferă un strat suplimentar de protecție substratului de grafit subiacent, protejându-l de reacțiile chimice și uzura care poate apărea în timpul procesului de epitaxie. În al doilea rând, acoperirea cu SiC îmbunătățește proprietățile termice ale grafitului acoperit cu carbură de siliciu, permițând încălzirea eficientă și uniformă a plachetelor. Această încălzire uniformă este esențială pentru obținerea unor straturi epitaxiale consistente și de înaltă calitate pe plăcile semiconductoare.

Designul baril susceptor cu grafit acoperit cu carbură de siliciu este optimizat pentru a ține și transporta în siguranță mai multe napolitane pe tot parcursul procesului de epitaxie. Structura sa asemănătoare butoiului permite încărcarea și descărcarea ușoară a napolitanelor, asigurând în același timp distribuția corespunzătoare a căldurii și stabilitatea termică în timpul funcționării.

În general, grafitul acoperit cu carbură de siliciu cu baril susceptor reprezintă o componentă critică în echipamentele de epitaxie, oferind fiabilitate, durabilitate și control termic precis, esențial pentru producția de dispozitive semiconductoare avansate.