Inel de focalizare din carbură de siliciu solidă

Inelul de focalizare din carbură de siliciu solidă Semicorex este o componentă esențială în fabricarea semiconductoarelor, poziționat strategic în afara plachetei pentru a menține contactul direct. Prin utilizarea unei tensiuni aplicate, acest inel concentrează plasma care o traversează, sporind astfel uniformitatea procesului pe placă. Construit exclusiv din carbură de siliciu prin depunere chimică în vapori (CVD SiC), acest inel de focalizare întruchipează calitățile excepționale cerute de industria semiconductoarelor. Noi, cei de la Semicorex, suntem dedicați producției și furnizării de inele de focalizare cu carbură de siliciu solidă de înaltă performanță, care îmbină calitatea cu eficiența costurilor.

Trimite o anchetă

Descriere produs

În fabricarea semiconductoarelor, inelul de focalizare din carbură de siliciu solidă Semicorex joacă un rol crucial, acționând ca un scut, păstrând integritatea plachetei în timpul procesului de gravare. Designul său meticulos proiectat asigură gravarea precisă și uniformă, facilitând astfel producția de elemente semiconductoare extrem de complicate, care prezintă performanțe și fiabilitate superioare.

Carbura de siliciu este materialul de alegere pentru inelul de focalizare datorită rezistenței sale superioare la coroziunea cu plasmă atunci când este expus la plasmă din camera de reacție în vid. Inelul de focalizare din carbură de siliciu solidă depășește siliciul tradițional din mai multe aspecte, inclusiv:

(1) Densitate mare care minimizează ratele de gravare.

(2) Banda interzisă superioară și proprietăți excelente de izolare.

(3) Conductivitate termică excepțională, coeficient scăzut de dilatare termică și rezistență la șoc termic.

(4) Elasticitate ridicată cuplată cu rezistență excelentă la impacturi mecanice.

(5) Duritate remarcabilă, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.

Conductivitatea carburei de siliciu și rezistența la gravarea ionică sunt asemănătoare cu siliciul, făcând inelul de focalizare cu carbură de siliciu solidă un material ideal pentru această aplicație.

Inelul de focalizare din carbură de siliciu solidă Semicorex reprezintă o soluție de ultimă generație în domeniul producției de semiconductori. Utilizează proprietățile unice ale CVD SiC pentru a facilita procese de gravare fiabile și de înaltă performanță, contribuind în mod semnificativ la progresul tehnologiei semiconductoare.