Inele solide CVD SiC

Semicorex solidCVD SiCinelele sunt de obicei montate în camerele de reacție ale echipamentelor de gravare, înconjurând mandrinele electrostatice pentru a servi drept barieră de proces și ghidaj energetic. Ele pot concentra plasma în camera din jurul plachetei și pot preveni difuzarea plasmei în exterior, oferind astfel un câmp energetic adecvat pentru procesul de gravare precis. Acest câmp energetic uniform și stabil poate atenua în mod eficient riscurile, cum ar fi defectele plachetei, deviația procesului și pierderea randamentului dispozitivului semiconductor cauzată de distribuția neuniformă a energiei și distorsiunea plasmei la marginea plachetei.

Excelente avantaje materiale

Inelele solide CVD SiC Semicorex sunt fabricate din CVD SiC de înaltă puritate, oferind avantaje materiale excelente pentru a îndeplini pe deplin cerințele stricte de curățenie ridicată și rezistență ridicată la coroziune în mediile de gravare a semiconductorilor.

1. Puritate ridicată

Puritatea inelelor solide CVD SiC Semicorex poate depăși 99,9999%, ceea ce înseamnă că inelele sunt aproape lipsite de impurități interne. Această puritate excepțională a materialului evită în mare măsură contaminarea nedorită a plachetelor semiconductoare și a camerelor de proces de la eliberarea de impurități în timpul proceselor de gravare a semiconductorilor.

2. Rezistență ridicată la coroziune

Semicorexinele solide CVD SiCpot menține integritatea structurală și stabilitatea performanței chiar și atunci când sunt expuse la acizi puternici, alcalii și plasmă datorită rezistenței superioare la coroziune a CVD SiC, făcându-le soluțiile ideale pentru mediile dure de procesare a gravării.

3. Performanță de management termic de încredere

CVD SiC are o conductivitate termică ridicată și un coeficient minim de dilatare termică, ceea ce face ca inelele solide CVD SiC Semicorex să realizeze o disipare rapidă a căldurii și să păstreze o stabilitate dimensională excelentă în timpul funcționării.

4. Uniformitate excepțională a rezistenței

Inelele solide CVD SiC Semicorex oferă o uniformitate excepțională a rezistenței cu RRG < 5%.

Domenii de rezistivitate: Low Res. (<0,02 Ω·cm), Rez. (0,2–25 Ω·cm), înaltă rezoluție. (>100 Ω·cm).

Control precis al calității

Inelele solide CVD SiC Semicorex sunt procesate și inspectate în conformitate cu standarde riguroase pentru a îndeplini pe deplin cerințele stricte de precizie și calitate ale domeniilor semiconductoare și microelectronice.

Tratamentul suprafeței: Precizia lustruirii este Ra < 0,1µm; Precizia de măcinare fină este Ra > 0,1 µm

Precizia procesării este controlată în ≤ 0,03 mm

Inspecție de calitate: inelele solide CVD SiC Semicorex vor fi supuse măsurătorilor dimensionale, testării de rezistivitate și inspecției vizuale pentru a se asigura că produsul nu are așchii, zgârieturi, fisuri, pete și alte defecte.