Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate pentru MOCVD oferă rezistență superioară la căldură și uniformitate termică, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a plachetelor semiconductoare. Cu un grafit acoperit cu SiC de înaltă calitate, acest produs este conceput pentru a rezista celui mai dur mediu de depunere pentru creșterea epitaxială. Conductivitatea termică ridicată și proprietățile excelente de distribuție a căldurii asigură performanțe fiabile pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Citeşte mai multTrimite o anchetă