Poroase Alumina Chucks

Chucile de alumină poroasă semicorexă sunt construite special pentru cele mai delicate napolitane. Proiectarea lor poroasă asigură asigurarea unei distribuții consistente a vidului pe suprafața mandrinei, ceea ce asigură o tensiune localizată redusă și ajută la prevenirea tăierii și ruperii marginilor. Clamarea mecanică (solidă sau altfel) nu este la fel de eficientă ca rețeaua microporoasă, care deține chiar și napolitane delicate, fără a se constrânge de tensiune mecanică excesivă, în timp ce fixează placa în siguranță, deoarece structura microporoasă împiedică uzura și oferă o reținere blândă. Necesitatea unei adsorbții uniforme pe întreaga suprafață a mandrinei este deosebit de critică pentru napolitane mai mari și mai subțiri, care pot tolera mult mai puțin stres în timpul manipulării automate și în timp ce execută etape de procesare de înaltă precizie.

Optimizat pentru 35-40% porozitate, Chuck dezvoltă o rețea de pori interconectați care servesc la evacuarea aerului, oferind în același timp suficientă rezistență mecanică pentru a ține placa în vigoare împotriva forțelor de proces. Aceasta înseamnă că forța de reținere a vidului rămâne stabilă în timp ce mutați napolitane, chiar și în succesiune rapidă, în timp ce efectuați o secvență de proces complexă. Adsorbția în cadrul unei rețele microporoase oferă mai multă stabilitate decât prin crearea de diferențe de presiune în sistemul de vid.

Alumina neagră (al₂o₃), în sine este materialul final, deoarece este greu, rezistent la uzură și inert chimic. Nu va degrada nicio suprafață apreciabilă și nu este afectată prin cicluri repetate ale plafonului (plasament/ adsorbție/ răcire în vid). Negrulaluminăeste stabilă dimensional, prin urmare, nu se va schimba în ciuda schimbărilor de temperatură care apar în mod natural în timpul procesului (încălzire și răcire) sau în mediu.

Rezistența chimică este un alt avantaj cheie al aluminei negre. Chuck -ul poate funcționa în medii de curățare agresivă, plasmă și gravură, fără a compromite integritatea structurală a acesteia. Inerea sa împiedică contaminarea suprafeței de placă, asigurând o puritate ridicată a procesului și respectarea standardelor de cameră curată.

Structura microporoasă oferă, de asemenea, o suprafață de susținere care scutește concentrația de tensiune pe napolitane subțiri și fragile. În tandem cu o platformă de suprafață precisă și finisare netedă a suprafeței, mucile poroase de alumină vor reduce la minimum apariția micro-cracților și zgârieturilor care ar putea compromite integritatea plafonului la îndemână.

Ceramică de aluminăAre o duritate superbă, o rezistență mecanică ridicată, un coeficient termic scăzut de expansiune și o stabilitate termică excelentă, ceea ce îl face un material practic pentru o aplicare cu semiconductor de precizie. De asemenea, inerția sa chimică înseamnă că poate rezista acizilor, alcalinelor și plasmei, în timp ce proprietățile de rezistență la uzură asigură durabilitatea, aceste avantaje fac din alumina materialul ales pentru muchii de vid microporoase și oferă atât fiabilitatea, cât și predictibilitatea performanței.

În concluzie, muchii poroase de alumină sunt concepute pentru a furniza o manevrare uniformă și supraviețuitoare a wafer -ului. Structura sa microporoasă de alumină neagră oferă chiar și adsorbția în vid (uniformitate), reducând în același timp tensiunea mecanică și reducerea deteriorării napolitanei. Ca un much, porozitatea substanțială și optimă, împreună cu proprietățile termice, mecanice și chimice remarcabile, ajută la optimizarea siguranței, valorii și fiabilității de funcționare a navei în condiții dure de fabricație. Combinația excelentă de manipulare robustă, uniformă și sigură pe care o pot oferi producătorii de alumine poroase sunt pur și simplu rare și unice.