AL2O3 Chucks de vid

Semicorex al₂o₃ muchii de vid sunt o componentă ceramică microporoasă de precizie dezvoltată pentru manipularea wafer -ului, fixarea și procesarea aplicațiilor în industria semiconductorilor. Fabricat din alumina neagră cu o porozitate controlată de 35%-40%, este un mediu extrem de stabil, curat și de încredere pentru procesele de adsorbție în vid. Chuck combină procesarea ceramică a substratului pe o suprafață funcțională folosind tehnici avansate de fabricație pentru a oferi performanțe de aspirație consistente pentru placa fragilă a utilizatorului în timpul etapelor critice ale procesului.

Negrualumină (al₂o₃); are un echilibru unic de rezistență mecanică, duritate și rezistență chimică în comparație cu metalele și polimerii. Structura microporoasă este optimizată pentru porozitate controlată pentru a oferi o distribuție constantă a vidului pe suprafața mandrinei de vid. Distribuția constantă a vidului pe suprafața completă a unui mandru de placă minimizează concentrațiile de stres localizate, limitând riscul de denaturare a plafonului, ciocan de margine și rupere. Pe măsură ce fabricarea wafer -ului continuă să se extindă în diametru, iar geometriile și dispozitivele devin mai fragile, procesează randamentul și îmbunătățirea fiabilității de gestionare a waferului devin cerințe critice.

Porozitatea controlată de 35-40% reprezintă o caracteristică cheie a acestui mandrine de vid. O rețea de pori optimizată poate reduce la minimum turbulența în timpul evacuării aerului din zona porilor și să mențină forța de deținere, păstrând în același timp rezistența mecanică și durabilitatea. În schimb, clemele mecanice folosesc plăci care provoacă puncte de stres localizate și lucrează împotriva proprietăților mecanice ale plafonului individual. Prin urmare, suprafața de alumină microporoasă este superioară în deținerea napolitanelor plate și incongruente în timpul abordărilor mecanice. Acest lucru face ca un candidat perfect pentru procese semiconductoare de înaltă tehnologie care beneficiază de planeitatea waferului și deținerea netedă, inclusiv litografia, gravura, depunerea și metrologia.

Din perspectivă termică, materialul de alumină neagră are această capacitate excelentă de a menține stabilitatea dimensională în timpul temperaturii ridicate. Cu un coeficient scăzut de expansiune termică, un mandru de vid este capabil să rămână exact chiar și în timpul ciclurilor de încălzire și răcire, ceea ce reprezintă un aspect critic datorită fluctuației rapide a temperaturii care se produce adesea în mediile de prelucrare a waferului. Duritatea și rezistența la uzură a acestei ceramice crește, de asemenea, longevitatea mandrinei, reducând frecvența de întreținere a operatorilor de echipamente și scăderea costului total de proprietate.

Inerea chimică a ceramicii aluminei este încă o proprietate substanțială. În fabricile semiconductoare, componentele echipamentului trebuie să tolereze substanțe chimice agresive, agenți de curățare sau medii plasmatice fără deteriorare. Alumina neagră are proprietăți excelente pentru rezistența la coroziune, oxidare și/sau contaminare a suprafeței și, prin urmare, păstrează stabilitatea structurii și structurale/fazice în perioadele de ciclu de funcționare excitat. Această proprietate în vigoare înseamnă, de asemenea, că napolitane nu sunt supuse contaminării care protejează circuitul de modul în care funcționează aceste dispozitive și, de asemenea, are încredere în protocoalele curatului de cameră.

Nu numai că mucile de vid Al₂o₃ prezintă performanțe funcționale excelente, finisajul de suprafață este, de asemenea, strict controlat. Finisajul este creat folosind procese de prelucrare și lustruire de înaltă precizie care produc o planeitate uniformă și netezime, astfel încât napolitane delicate să poată fi menținute fără zgârieturi sau deteriorare de suprafață. Porozitatea extrem de proiectată a materialului produce un echilibru adecvat între aspirație și protecția suprafeței, permițând o forță de reținere adecvată pe placă, evitând în același timp orice deteriorare a substraturilor subțiri și fragile.

Din punct de vedere operațional, mucile de vid Al₂o₃ sunt componente critice în fabricarea contemporană a semiconductorilor. Acesta facilitează automatizarea, permițând preluarea, plasată, aliniată și prelucrată, îndeplinind în mod fiabil cerințele procesului. Culoarea neagră a aluminei ajută, de asemenea, și oferă avantaje pragmatice prin reducerea reflecției luminii în timpul inspecțiilor optice și proceselor de măsurare, în special în cazul în care se utilizează echipamente optice de înaltă precizie.

Combinarea tehnologiei ceramice avansate cu un design bine considerat, a cedat, în Chucks Al₂o₃, o soluție de înaltă performanță de înaltă performanță pentru provocările de gestionare a wafer-ului producătorilor de semiconductori. Chucks -ul de vid Al₂o₃ îmbunătățește productivitatea prin pierderea redusă a napolitanei, reduce timpul de oprire din cauza durabilității și îmbunătățește stabilitatea procesului, oferind o forță de deținere a vidului consistentă.

Semicorex al₂o₃ muchuri de vid fabricate din negru microporosaluminăeste mai mult decât un simplu dispozitiv; Este un facilitator critic al producției de semiconductori de precizie. Cu porozitatea sa optimizată, proprietățile materiale excepționale și performanța robustă, asigură o gestionare fiabilă a plafonului în cele mai solicitante procese de fabricație. Pentru producătorii care doresc să obțină un randament mai mare, o eficiență îmbunătățită a procesului și o performanță superioară a echipamentelor, mand -ul de vid alumina neagră este o alegere indispensabilă.