Suportul pentru napolitane de la Semicorex pentru procesul de gravare ICP este alegerea perfectă pentru procesele solicitante de manipulare a plachetelor și de depunere a filmelor subțiri. Produsul nostru se mândrește cu rezistență superioară la căldură și coroziune, uniformitate termică chiar și modele optime de flux laminar de gaz pentru rezultate consistente și fiabile.
Alegeți suportul pentru napolitane Semicorex pentru procesul de gravare ICP pentru performanțe fiabile și consecvente în procesele de manipulare a plachetelor și de depunere a filmelor subțiri. Produsul nostru oferă rezistență la oxidare la temperaturi înalte, puritate ridicată și rezistență la coroziune la acizi, alcali, sare și reactivi organici.
Suportul nostru de napolitană pentru procesul de gravare ICP este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminari sau difuzia impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre suportul nostru pentru napolitană pentru procesul de gravare ICP.
Parametrii suportului de napolitană pentru procesul de gravare ICP
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structura de cristal |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici ale suportului pentru napolitană pentru procesul de gravare ICP
- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața
Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C
Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.
Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
- Obțineți cel mai bun model de flux laminar de gaz
- Garantează uniformitatea profilului termic
- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților