Grafit acoperit cu siliciu și carbon ICP

Purtătorii de napolitane utilizați în procesarea creșterii epitaxiale trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Susceptorii Semicorex ICP din grafit acoperit cu silicon și carbon sunt proiectați special pentru aceste aplicații solicitante de echipamente de epitaxie. Produsul nostru este conceput pentru a rezista la temperaturi ridicate și la curățarea chimică dure, asigurând longevitate și rezultate optime.
Grafitul nostru ICP Silicon Carbon Coated este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminări sau difuzarea impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre grafitul nostru ICP Silicon Carbon Coated.

Parametrii ICP Silicon Carbon Coated Grafit

Caracteristici ale ICP Silicon Carbon Coated Grafit

- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața

Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C

Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.

Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.

Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

- Obțineți cel mai bun model de flux de gaz laminar

- Garantează uniformitatea profilului termic

- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților